產(chǎn)品簡介
GSL-3Z可以用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架上，管式爐可以放在GSL-4Z的上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥。結(jié)合科晶集團的管式爐，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
| 功能模塊 | 項目 | 參數(shù) |
| 混氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量控制器
| 工作電壓:：185~245V/50Hz 輸出功率：18W 控制范圍：
工作溫度：5~45 ºC 壓力：3x106 Pa 準(zhǔn)確度：±1% FS |
| 機械壓力表 | 測量范圍： -0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) | |
| 針閥 | 316不銹鋼 | |
| 混氣罐 | Φ80X120mm | |
| 截止閥 | Φ1/4”316不銹鋼針閥 | |
| 尺寸 | 600x600x650 mm |
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