單頻紫外激光器 IXION-193?SLM是單頻二管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學(xué)計量、高功率ArF的帶寬控制和193nm波長的步進校準(zhǔn)。光譜帶寬接近理論傅立葉變換限。中心波長以0.01nm的度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內(nèi)置高精度光譜儀，度可達1pm以保證對激光器調(diào)諧的Z大控制。

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM是單頻二管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學(xué)計量、高功率ArF的帶寬控制和193nm波長的步進校準(zhǔn)。光譜帶寬接近理論傅立葉變換限。中心波長以0.01nm的度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內(nèi)置高精度光譜儀，度可達1pm以保證對激光器調(diào)諧的zui大控制。


單頻紫外激光器 IXION-193 SLM典型參數(shù)

型 號	IXION-193 SLM
波 長	193.368 nm
平均功率	>10 mW
脈 寬	< 10 ns
脈沖能量	>1.6 µJ
重復(fù)頻率	6 kHz
M2 因子	< 1.6
線 寬	<120MHz;0.015pm; 0.004cm-1
調(diào)諧范圍	>80GHz; 10pm;2.6cm-1
相干長度	>1 m

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM特點
· 工業(yè)級的頻率轉(zhuǎn)換，密封封裝
· 插槽安裝激光二管泵浦
· 優(yōu)異的TEM₀₀光束形貌
· 脈沖到脈沖之間波動小
· 免維護與熱電溫控管理
· LabVIEW驅(qū)動
· 內(nèi)置光譜儀用于波長實時控制

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM應(yīng)用
· 193 nm波長計量
· 光譜儀校準(zhǔn)
· 干涉測量
· 的種子注入
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM
光譜帶寬


脈沖寬度


長時間功率穩(wěn)定性

光束質(zhì)量