XITON Impress系列深紫外激光器是高重頻二管泵浦調(diào)Q固體激光器。其優(yōu)異的TEM00光束模式非常適合用于計(jì)量學(xué)和微細(xì)加工（如半導(dǎo)體或顯示器修復(fù)等），其短的波長(zhǎng)適合于直接刻寫應(yīng)用。系統(tǒng)通過RS-232接口由電腦控制運(yùn)行，可接受不同的觸發(fā)控制模式。

XITON Impress系列深紫外激光器是高重頻二管泵浦調(diào)Q固體激光器。其優(yōu)異的TEM₀₀光束模式非常適合用于計(jì)量學(xué)和微細(xì)加工（如半導(dǎo)體或顯示器修復(fù)等），其短的波長(zhǎng)適合于直接刻寫應(yīng)用。系統(tǒng)通過RS-232接口由電腦控制運(yùn)行，可接受不同的觸發(fā)控制模式。

XITON Impress系列深紫外激光器典型參數(shù)

型 號(hào)	IMPRESS 213	IMPRESS 224
波 長(zhǎng)	213 nm	224 nm
平均功率	150 mW	300 mW
脈 寬	< 7 ns	< 9 ns
脈沖能量	>15 µJ	>30 µJ
重復(fù)頻率	0.1-30 kHz	0.1-30 kHz
M2 因子	< 1.6	< 1.6

特點(diǎn)

· 短紫外波長(zhǎng)
· 插槽安裝激光二管泵浦
· 優(yōu)異的光束形貌
· 超低運(yùn)行與維護(hù)成本
· “綠色光電”
· 24/7連續(xù)工業(yè)使用

應(yīng)用

· 光纖布拉格光柵刻寫
· 波長(zhǎng)敏感加工
· 立體光刻
· 顯示器修復(fù)
· 微細(xì)加工
· 半導(dǎo)體檢測(cè)
· 倍頻氬離子激光器替換
· 光致發(fā)光測(cè)量

優(yōu)異的FBG刻寫性能

· 超快刻寫速度，僅需數(shù)分鐘
· 光纖無需預(yù)載氫
· 高重頻刻寫光纖光柵質(zhì)量更高
· 超低運(yùn)行與維護(hù)成本，體積小

參考文獻(xiàn)