針對高反射率（R>99.7%）的光學(xué)樣品，德國 IPHT Jena研發(fā)了光腔衰蕩光譜法（Cavity Ring-Down Spectroscopy,CRDS）反射率測量測量系統(tǒng), 它通過對指數(shù)型腔內(nèi)衰蕩信號的檢測, 消除了傳統(tǒng)檢測方法中激光能量起伏所引起的誤差, 大大提高了測量精度。

測量原理

當一束脈沖激光沿著光軸入射到光腔內(nèi)，忽略衍射及散射損耗，單色脈沖光在兩個腔鏡之間往返振蕩，每經(jīng)過一次循環(huán)透射出部分光，探測器通過接收光脈沖信號得到其以單指數(shù)形式衰減。
 

τ為衰蕩時間，指光子出射脈沖光強衰減為初始光強的1/e時經(jīng)歷的時間。C代表光速，L是代表腔長，RM是兩個腔鏡的幾何平均反射率，散射V和吸收系數(shù)α忽略不計。則，衰蕩時間τ表示為：

從公式上可知:

1)腔內(nèi)損耗越小，反射率越高，衰蕩時間越長。
2)在已知參考片的反射率Rref 前提下，可求得要待測樣品的反射率R。
 

一、 德國IPHT CRD高反射率測量系統(tǒng)

1. CRD系統(tǒng)介紹

系統(tǒng)包含

1. 激光光源
2. 光學(xué)零部件
3. A/D轉(zhuǎn)換器
4. 探測系統(tǒng)

應(yīng)用：

精確檢測高反射率激光腔鏡的反射率，尤其對于反射率大于99.9%的腔鏡測量具有更好的效果。