英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱：旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。

KW系列勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。

全腔室采用聚四氟 PTFE 高分子腔室材料，耐酸堿、防腐蝕，帶弧 度腔底方便膠導出； 

· 具有腔室內(nèi)廢氣抽、排功能； 

· 正、反轉旋涂方向可自由切換； 

· 速度上升曲線實時顯示； 

· 具有電機進膠報警及保護功能； 

· 具有基片吸附力不足報警及互鎖功能； 

· 帶 USB，RS485，藍牙通信功能，配套 KW 系列勻膠機 PC 端控制軟件。

性能參數(shù) 

· 8 寸觸摸屏、BAMBOO 觸控筆，圖形化界面操作方便；

· 勻膠機功率 650W，勻膠均勻性±1%，機械泵功率 350W，抽速≥60L/MIN； 

· 轉速范圍：1-12000RPM，轉速分辨率：1RPM，轉速穩(wěn)定度：±0.1%；

· 加減速度可調范圍：1-10000 RPM/S；

· 可設置 N 組 15 段轉速程序，存儲 N 組數(shù)據(jù)，每段時間 N（N 任意）。

· 寬電壓適用： 100-250VAC 單相電輸入；

· 外型尺寸：340mm（W）×500mm（D）×250mm（H）；

· 產(chǎn)品質量：勻膠機 18 KG，機械泵 9KG。

· 適用基片：Φ5-Φ200mm 圓片及方片