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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
薄膜沉積系統(tǒng)核心組件
坩堝型金屬蒸發(fā)器（ME系列）
標(biāo)準(zhǔn)的ME-系列坩堝型金屬蒸發(fā)器。通常的被沉積材料包括Ag, Mg, Ca, Cu 和 Au 等。如果沉積材料具有腐蝕性（如鋁等），請(qǐng)選擇MEB系列及遮光板選項(xiàng)。
技術(shù)參數(shù)： l 沉積速度：投擲距離250mm條件下，10-2 … 50 A/Sec（與物質(zhì)密切相關(guān)） l 溫度： 300°C -1400°C l 鎢絲，帶陶瓷絕熱器 l 功率：9A/350W（與大小有關(guān)） l 溫度傳感器類型：C型 l 水冷系統(tǒng)（約4L/min） l 溫度穩(wěn)定性：<0.1K l 適用于Ag, Mg,Ca, Cu 和 Au 等 | 選項(xiàng)： l 法蘭：CF法蘭 l 不同大小的坩堝 l 電源供應(yīng) l 遮光器 l PID溫度控制器 |
坩堝型金屬蒸發(fā)器ME-X
容積* | 蒸發(fā)器尺寸（mm） | 【大小】 | 訂貨編號(hào) | |||
A** | B | C | D | |||
4 ccm | 110 | 35 | 53.7 | 20 | -4 | ME-4 |
8 ccm | 125 | 35 | 68.7 | 23 | -8 | ME-8 |
*對(duì)于圓錐形蒸發(fā)器
**指最小的位于真空系統(tǒng)中的長(zhǎng)度，可按照用戶的要求延長(zhǎng)
法蘭選項(xiàng)
法蘭 | 【法蘭】 | 訂貨編號(hào) |
無法蘭 | BASE | ME-【大小】-BASE |
DN40CF* | CF40 | ME-【大小】-CF40 |
*更大的法蘭、ISO法蘭需要定制。水冷系統(tǒng)沒有包括。
遮光板選項(xiàng)
遮光板 | 【遮光板】 | 訂貨編號(hào) |
不配備遮光板 | NOS | DE-【大小】-【法蘭】-NOS |
集成式遮光板，手動(dòng) | SHM | DE-【大小】-【法蘭】-SHM |
集成式遮光板，氣動(dòng)* | SHP | DE-【大小】-【法蘭】-SHP |
集成式遮光板，電動(dòng)* | SHE | DE-【大小】-【法蘭】-SHE |
*有些遮光板不可配備到小型法蘭上，如有必要，請(qǐng)咨詢?cè)敿?xì)信息。
特殊定制型蒸發(fā)器
多段加熱微型有機(jī)物蒸發(fā)器 MZE系列
多段加熱微型有機(jī)物蒸發(fā)器用于熱敏性物質(zhì)的柔性蒸發(fā)。PID溫度控制下的溫度梯度保證在任何一個(gè)加熱段不發(fā)生霧化堵塞。另外，多段加熱微型有機(jī)物蒸發(fā)器可用于多過程研究。
多組微型有機(jī)物蒸發(fā)器 MZE系列
多組微型有機(jī)物蒸發(fā)器以靈活性快速研究沉積過程。
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移動(dòng)站：坩堝型金屬蒸發(fā)器ME系列
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