HEPA & ULPA過濾器的構(gòu)造。Fig 6. 分離式過濾器Fig 7. 一體式過濾器Fig 5. 包裝物粘合成過濾網(wǎng)外框----外框與氣密墊片組裝成最終過濾箱體，Pack is glued into a frame - Frame is gasketed to formfinalassembly，HEPA/ULPA 過濾器是專門為去除多種空氣中的

HEPA過濾器圖冊(2張)污染成分而設(shè)計的，可以去除的。成分包括：標準粉塵卷煙煙氣細菌（細菌大?。?00到0.3微米）煤灰花粉放射性微粒雜質(zhì)離子-〉會影響到集成電路的速度。
HEPA & ULPA 過濾器
HEPA: 高效空氣凈化器的縮寫（High efficiency particulate air Filter；
HEPA: 對直徑為0.3微米微粒99.99%的過濾效率；
ULPA: 超低空氣泄漏；
ULPA: 對直徑為0.12微米微粒99.999%的過濾效率
A 高效率屬於顆?？諝?或 HEPA (IPA:/?h?p?/)過濾器是類型的高效率空氣過濾器.
作用
HEPA過濾器可能去除至少97.00%空中微粒0.3測微表(μm)直徑。 這大小微粒是最難過濾和因而被認為 多數(shù)滲透的微粒大小 (MPPS)。 是更大的微粒 或更小 過濾以高效率。
HEPA過濾器由任意地被安排的纖維席子組成。 影響作用的關(guān)鍵度規(guī)是纖維密度和直徑和過濾器厚度。 空域在HEPA過濾器纖維之間是大於0.3 μm。 共同的假定HEPA過濾器行動像a篩子那里微粒小於的開頭可能通過是不正確的。 至於為膜濾器微粒很大他們是一樣寬的像纖維之間的的開頭或距離不可能在他們之間根本通過。 但HEPA過濾器被設(shè)計瞄準更小的污染物，并且微粒由以下三個機制之一主要困住(他們堅持纖維) ：
攔截微粒從事流線在空氣小河來臨在纖維的一條半徑范圍內(nèi)并且遵守它的地方。裝緊更大的微粒無法通過跟隨空氣小河的彎曲的等高的地方避免纖維和被迫在他們中的一個中直接地埋置; 這增加以減少的纖維分離和更高的氣流速度。擴散一個改進機制是碰撞的結(jié)果與氣體分子由最小的顆粒，特別是那些在直徑的0.1 μm以下，從而在他們的道路被妨礙并且被延遲穿過過濾器; 這行為是相似的蘇格蘭的植物學(xué)家Robert Brown的行動并且培養(yǎng)可能性微粒將路過二個機制之一上面; 它變得統(tǒng)治在更低的氣流速度。擴散在0.1 μm直徑微粒大小之下占優(yōu)勢。 裝緊和攔截在0.4 μm之上占優(yōu)勢。 在之間，在0.3 μm MPPS附近，擴散和攔截占優(yōu)勢。