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產(chǎn)品簡介
一、產(chǎn)品用途:
無塵無氧烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅膜硬烘(Hard baking)等工藝,本設(shè)備適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu).
二、性能特點:
1、箱體內(nèi)膽采用優(yōu)質(zhì)SUS304#鏡面不銹鋼材質(zhì),滿焊接后經(jīng)無塵化處理,表面潔凈,自身不產(chǎn)塵。
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移動站:無塵無氧烘箱
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