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  • 無塵無氧烘箱
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品牌

廠商性質(zhì)

其他

型號

訪問次數(shù)

699

產(chǎn)地

江蘇蘇州市

更新時間

2022/9/5 20:05:51

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產(chǎn)品簡介

無塵無氧烘箱

無塵無氧烘箱詳細信息


一、產(chǎn)品用途:

無塵無氧烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅膜硬烘(Hard baking)等工藝,本設(shè)備適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu).


二、性能特點:

1、箱體內(nèi)膽采用優(yōu)質(zhì)SUS304#鏡面不銹鋼材質(zhì),滿焊接后經(jīng)無塵化處理,表面潔凈,自身不產(chǎn)塵。
2、設(shè)備內(nèi)置進口耐高溫高效過濾器,結(jié)合設(shè)計的熱風(fēng)循環(huán)風(fēng)道,安全可靠的加熱控制系統(tǒng),配合充氮控制系統(tǒng),確保工作室內(nèi)達到class100無塵無氧的潔凈防氧化環(huán)境。干燥箱全部采用不銹鋼材料,*的控制系統(tǒng),使得工作室的溫度更加均勻。
3、氣體系統(tǒng):采用進口耐高溫高效無框過濾器H.E.P.A,過濾效率 99.997% @0.3UM,
選配:氧含量分析儀,記錄數(shù)據(jù)。6點溫度記錄儀
4、溫控系統(tǒng):采用宇電觸摸屏PID自動演算,溫度精準度±0.1℃,120組*100段程序,溫度曲線,超溫抑制,傳感器斷線保護,選配RS485通訊端口。水冷系統(tǒng)。
5、無氧控制:配置氧含量分析儀(選配)雙流量計節(jié)氮系統(tǒng),雙延時充氮控制,無氧、低氧環(huán)境下節(jié)省氮氣消耗量。


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