Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設(shè)計用于半導(dǎo)體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高長期穩(wěn)定性的控制應(yīng)用。
GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu)，用戶可方便地調(diào)節(jié)用于零點和量程微調(diào)的12 圈電位計。標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)外螺紋/ 內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外，該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。GCT-225
系列產(chǎn)品提供5 VDC、10 VDC 或4-20 mA 三種輸出類型，可使用六英尺多芯電纜及卡口、D-Sub 或M12x1 接頭進行電氣連接。
GCT-225 系列壓力變送器采用Setra 的可變電容技術(shù)，配有VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。Setra 的定制集成電路采用的電荷平衡原理制成，幾乎不受EMI/RFI 干擾。
在制造和裝配完成后，Setra 超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純熱氮氣吹掃、烘干、雙層包裝、氮氣充注和密封等處理，最后才發(fā)貨。
注：Setra 的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品的標(biāo)定具有NIST 可追蹤性，美國號。
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗
·堅固耐用，安裝
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證，適用于潛在危險區(qū)域
·符合CE 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
規(guī)格
性能參數(shù) | 物理參數(shù) | 電氣參數(shù)(電壓) | ||||||
精度RSS1(恒溫下) | ±0.25%FS | 殼體 | 不銹鋼 | 電路 | 3線(COM,OUT,EXC) | |||
非線性(擬合直線) | ±0.15%FS | 電氣連接 | 6英尺/1.8米多芯電纜,4 針頭卡口接頭 | 輸出4 | 0～5VDC或0.2～5.2VDC5 0～10VDC或0.2～10.2VDC5 | |||
遲滯 | 0.20%FS | |||||||
溫度影響2 | 壓力接口 | #4外螺紋/內(nèi)螺紋端面密封旋轉(zhuǎn)接頭,1/4NOT外螺 紋接頭或管接頭 | 激勵 | 5VFSO(滿量程輸出)時為10～30VDC 10VFSO(滿量程輸出)時為13-30VDC | ||||
溫度補償范圍 | -9～65℃ | |||||||
零點/滿程漂移 | 1.8%(%FS/50℃) | 輸出電阻 | 10Ω | |||||
暖機(預(yù)熱)偏移 | 總計為0.1%FS | 通氣 | 通過外殼 | 段及偏移 | 總誤差±0.1%FS | |||
泄漏試驗;使用質(zhì)譜儀進行1×10-9ATM .CC/sec級別的氨滲漏試驗 | 內(nèi)腔體積 | 0.11in3 | 功耗 | 0.03W | ||||
接液部件 | VIM/VAR316L不銹鋼,電解 拋光至7Ra(10Ra) | 電氣參數(shù)(電流) | ||||||
壓力介質(zhì) | 電路 | 2線 | ||||||
與316L不銹鋼兼容的液體或氣體 | 重量 | 約113g | 輸出6 | 4～20mA7 | ||||
認(rèn)證 | 環(huán)境參數(shù) | 外部負(fù)載 | 0-800Ω | |||||
不易燃認(rèn)證;適用于潛在危險區(qū)域的認(rèn)證; | 工作溫度3 | -40℃+85℃ | 最小供電 電壓(VDC) | 10+0.02x(接收器附加導(dǎo)線電阻) | ||||
存放溫度 | -40℃+85℃ | |||||||
北美;可選ETL認(rèn)證,適用于ANSI/ISA -12.2.01-2011標(biāo)準(zhǔn)中列出的1類2區(qū) A.B.C.D組成危險區(qū)域(選擇N1選項) | 電流輸出型(訂購N1選項時) | -30℃+80℃ (工作/儲存溫度) | 供電電壓(VDC) | 30+0.004x(接收器附加導(dǎo)線電阻) | ||||
功耗 | ﹤0.9W | |||||||
歐洲;可選用于標(biāo)準(zhǔn)EN60079-0;2012的ATEX94/9/CE2區(qū)認(rèn)證或EN60079-15;2010 11 3G EX nA llC T4 Gc-30℃﹤Ta﹤+80℃認(rèn)證 (選擇N1選項) | ||||||||
1. 非線性、遲滯、非重復(fù)性的RSS值(方和根)
2. 產(chǎn)品在21℃進行標(biāo)定,溫度影響誤差由此書記計算.
3. 電子元件的工作溫度限制,壓力介質(zhì)的溫度可能明顯較高或較低。
4. 采用50KΩ負(fù)載進行標(biāo)定,可在負(fù)數(shù)≥5KΩ時工作
5. 零點(滿量程)輸出：對于5VDC電源,出廠設(shè)置在±25mV以內(nèi);對于10VDC電源,出廠設(shè)置在±50mV以內(nèi)
6. 出廠標(biāo)定時采用250Ω負(fù)載,24VDC電源。
7. 零點輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA以內(nèi),滿量程輸出的出廠設(shè)置在±0.16mA以內(nèi)。
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