美國(guó)ALICAT MW氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器
標(biāo)準(zhǔn)精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)
高精度 (選配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)
以上精度適用于所有預(yù)置氣體及通過(guò)氣體編輯器(COMPOSER™)生成的自定義氣體
典型質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)時(shí)間常數(shù): 5 毫秒 (超低流量下可能為10毫秒)
多種氣體標(biāo)定: 氣體選擇(Gas Select™)5.0版預(yù)置多達(dá)130種常用氣體，另內(nèi)置氣體編輯器(COMPOSER™)允許用戶自定義混合氣體
滿量程范圍: 0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm
常規(guī)設(shè)備線性范圍: 0.5-99% F.S, 量程可調(diào)比 200:1
316L結(jié)構(gòu)設(shè)備線性范圍: 1-99% F.S, 量程可調(diào)比 100:1 (MS系列)
允許管路壓力: 145 psig (標(biāo)準(zhǔn)) / 50 psig (MW低壓損系列)
常規(guī)設(shè)備滿量程壓損: 1-9 psi, 取決于流量范圍
“Whisper” 低壓損系列(MW)滿量程壓損: 0.06-0.69 psi, 取決于流量范圍
標(biāo)準(zhǔn)通訊方式: RS-232數(shù)字通訊和0-5v模擬通訊
選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號(hào)可選
選配通訊協(xié)議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
通訊接口: 8針mini-DIN
選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配
動(dòng)態(tài)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度等過(guò)程參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)顯示屏: 2.1″ 單色LCD數(shù)字式觸摸顯示屏
選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數(shù)字式觸摸顯示屏
有條件的終身質(zhì)保
對(duì)撞擊、潮濕環(huán)境、安裝方向等不敏感氣體選擇(Gas Select™)功能5.0兼容氣體列表 — 適用于所有艾里卡特質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器所有艾里卡特設(shè)備已將完整的NIST Ref Prop 9 系列氣體性能數(shù)據(jù)融入預(yù)置的130種兼容氣體列表，供用戶實(shí)時(shí)選擇、校準(zhǔn)。用戶可在預(yù)置的氣體列表范圍內(nèi)隨時(shí)切換氣體，并無(wú)需對(duì)設(shè)備進(jìn)行再校準(zhǔn)，所有預(yù)置氣體的校準(zhǔn)均具有設(shè)備應(yīng)有的NIST可溯源校準(zhǔn)精度。 (詳見(jiàn)各項(xiàng)產(chǎn)品規(guī)格參數(shù))氣體選擇(Gas Select™)功能5.0兼容氣體列表 — 適用于所有艾里卡特質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器
所有艾里卡特設(shè)備已將完整的NIST Ref Prop 9 系列氣體性能數(shù)據(jù)融入預(yù)置的130種兼容氣體列表，供用戶實(shí)時(shí)選擇、校準(zhǔn)。用戶可在預(yù)置的氣體列表范圍內(nèi)隨時(shí)切換氣體，并無(wú)需對(duì)設(shè)備進(jìn)行再校準(zhǔn)，所有預(yù)置氣體的校準(zhǔn)均具有設(shè)備應(yīng)有的NIST可溯源校準(zhǔn)精度。 (詳見(jiàn)各項(xiàng)產(chǎn)品規(guī)格參數(shù))
產(chǎn)品概述
Alicat的MS系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)可精確、快速測(cè)量腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度。MCS系列質(zhì)量流量控制器通過(guò)定制化的高速比例控制閥還可精確控制腐蝕性過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。
MW系列質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器的核心部件是Alicat
的層流壓差技術(shù)，確保在大流量情況仍然是線性流動(dòng)，從而
補(bǔ)償了工藝溫度和壓力變化對(duì)質(zhì)量流量及體積流量產(chǎn)生的影響。
所有Alicat質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat提供的用戶支持，包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。
MW系列質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器采用全不銹鋼結(jié)構(gòu)及彈性密封材料，內(nèi)置130/128種標(biāo)準(zhǔn)氣體供
選擇。集成式多功能數(shù)字顯示屏允許用戶通過(guò)顯示屏按鈕操作便可進(jìn)行氣體切換、設(shè)定值輸入及PID閥門
調(diào)節(jié)。MS/MCS系列設(shè)備支持標(biāo)準(zhǔn)的模擬通訊和RS-232數(shù)字通訊模式，另有各類定制化選項(xiàng)供特殊項(xiàng)目需求，如：用于危險(xiǎn)環(huán)境的ATEX(歐洲)1類2區(qū)和CSA(美國(guó))1類2區(qū)認(rèn)證產(chǎn)品等。另有便攜式(MBS系列)質(zhì)量流量計(jì)可選。
產(chǎn)品應(yīng)用
Alicat的MS/MCS系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器為腐蝕性過(guò)程氣體應(yīng)用的，如：半導(dǎo)體行業(yè)等。多變量測(cè)量與控制、多種氣體標(biāo)定以及100:1量程可調(diào)比使得僅用單臺(tái)MS/MCS系列質(zhì)量流量控制器
便可取代多臺(tái)設(shè)備的功效?？蛇_(dá)0.4%的精度、0.2%重復(fù)性及不到100毫秒的控制響應(yīng)時(shí)間優(yōu)化了氣體控制過(guò)程。
MS/MCS質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器可測(cè)量與控制從0-0.5 sccm到0-3000 slpm的滿量程的任何流量。
Standard Compatible Gas List for M-Series Meters
MS 系列質(zhì)量流量計(jì)參數(shù)
0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 4000 slpm 滿量程