| 參考價(jià) | ￥ 89000 |
| 訂貨量 | ≥1 把 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品新舊 | 全新 |
| 自動(dòng)化程度 | 其他 | 壓力范圍（滿量程） | 1、2、10、100、1000 |
| 精度 | ±0.25%讀數(shù) | 壓力 | 310Kpa |
| 電源要求 | ±15VDC?(±5%)?@?35?mA |
ACM200電容薄膜真空計(jì)
ACM200 電容薄膜壓力計(jì)，通常安裝在真空腔體或管道上，讀取實(shí)時(shí)壓力，±15VDC的電源和0 - 10VDC信號(hào)輸出的，廣泛用于半導(dǎo)體工程和真空工業(yè)設(shè)備。
特點(diǎn)
直接測(cè)量方式測(cè)量壓力
無(wú)關(guān)氣體組分影響
可應(yīng)用于腐蝕性氣體環(huán)境，適合于各類制程應(yīng)用
可搭配Atovac儀表，實(shí)時(shí)顯示
測(cè)量范圍從10E-4Torr至1000TOrr，覆蓋大多數(shù)制程壓力范圍
規(guī)格 | |
壓力范圍（滿量程） | 1、2、10、100、1000 |
低壓力 | 0.01%滿量程 |
精度 | ±0.25%讀數(shù) 可選：±0.15%讀數(shù) |
溫度效應(yīng) 零點(diǎn) 跨度 |
0.002% 滿量程/°C 0.02% 讀數(shù)/°C |
工作環(huán)境溫度 | 0℃至50℃ |
暴露于氣體中的材料 | 鉻鎳鐵合金 |
泄漏率 | 1x10-8sec/sec He |
壓力 | 310Kpa |
電源要求 | ±15VDC (±5%) @ 35 mA |
輸出信號(hào) | 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load |
法蘭 | 8 VCR, NW16KF |
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移動(dòng)站：Atovac 電容薄膜真空計(jì)
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