GYA-4HC型高純材料的生產(chǎn)用氬氣凈化機(jī)

GYA-4HC型氬氣凈化機(jī)主要用于電子、半導(dǎo)體、高純材料、原子能、鋰電池等行業(yè)的生產(chǎn)和封裝用氣。
凈化原理
該系列凈化機(jī)是利用催化劑與氧氣反應(yīng)生成金屬氧化物的原理除去氬氣中的雜質(zhì)氧氣,再利用吸附劑吸附脫除氬氣中的H2O、CO2等雜質(zhì),從而得到高純氬氣的。
GYA-4HC型氬氣凈化機(jī)技術(shù)參數(shù)
對(duì)原料氬氣的要求
一般瓶裝純氬,液氬、控制較好的管道氬氣。
雜質(zhì)要求: O2≤500PPm, H2O≤1000PPm。
輸出純氣
純度:99.9999%
雜質(zhì)含量:
O2≤0.1PPm,
H2O≤0.5PPm(即露點(diǎn)≤-
CO+CO2≤0.1PPm,
塵埃粒子數(shù)(≥0.3μm)3-5個(gè)/升。
工作壓力:0.4-1.5MPa。
處理氣量:4NM3/h(其他流量需要定制)。
GYA-4HC型氬氣凈化機(jī)設(shè)備特點(diǎn)
除氧催化劑活性高,工作溫度低,設(shè)備更節(jié)能。閥門(mén)全為不銹鋼波紋管閥門(mén),幾乎無(wú)泄漏,故設(shè)備更可靠。本機(jī)為雙式結(jié)構(gòu),一組工作,另一組再生備用,故能*連續(xù)供氣,一臺(tái)能頂兩臺(tái)單 式凈化機(jī)使用。本機(jī)可再生反復(fù)使用,設(shè)備壽命長(zhǎng),平均使用壽命大于10年。
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