基于業(yè)界的掃描探針顯微鏡SmartSPM和全自動拉曼光譜儀LabRAM HR Evolution，LabRAM HR Nano提供高自動化、多功能兼容性，性能很好的耦合系統(tǒng)。

LabRAM HR Evo Nano為苛刻的應(yīng)用帶來了易用性和*的靈活性。HR Evo Nano覆蓋從深紫外到紅外的高光譜分辨率分析，提供不同的擴(kuò)展選件和附件，可迎接任何研究挑戰(zhàn)。

HORIBA LabRAM Nano納米拉曼光譜儀器概要

多樣品分析平臺

宏觀、微觀和納米尺度的測量可以在同一個平臺上進(jìn)行。

簡單易用

全自動操作，在幾分鐘內(nèi)即可開始測量，而不是幾小時！

真正的共聚焦

高空間分辨率，自動樣品臺，全顯微鏡可視化。

高收集效率

頂部和側(cè)向拉曼光譜檢測都可以獲得高分辨和高通量測量同區(qū)域和針尖增強(qiáng)光譜測量（TERS和TEPL)

高光譜分辨率

高光譜分辨能力，多光柵自動切換，寬光譜范圍的拉曼和光致發(fā)光分析。

高空間分辨率

針尖增強(qiáng)的納米級光譜分辨率（優(yōu)于10nm）

豐富的光學(xué)光譜（拉曼和光致發(fā)光）

多技術(shù)/多環(huán)境

結(jié)合TERS/TEPL化學(xué)成像的多模式SPM技術(shù)包括AFM、導(dǎo)電和電學(xué)模式（cAFM、KPFM）、STM、液池和電化學(xué)環(huán)境。一個工作站和*的軟件即可對兩臺儀器進(jìn)行*控制，SPM和光譜儀可以同時或獨(dú)立操作。

堅固性/穩(wěn)定性

高共振頻率AFM掃描器，遠(yuǎn)離噪音干擾！高性能表現(xiàn)，無需主動隔振系統(tǒng)。

HORIBA LabRAM Nano納米拉曼光譜儀器配置

SmartSPM掃描器和基座

閉環(huán)平板掃描器： 100 µm x 100 µm x 15 µm (±10 %)

掃描器非線性：XY≤0.05 %; Z≤0.05 %

噪聲水平：XY≤0.1 nm RMS（200 Hz帶寬，電容傳感器打開）；

XY≤0.02 nm RMS（100 Hz帶寬，電容傳感器關(guān)閉）；

Z<0.04 nm RMS （1000 Hz帶寬，電容傳感器開）

高頻掃描器：XY≥7 kHz; Z≥ 15 kHz

X, Y, Z自動趨近：XYZ數(shù)字閉環(huán)控制，Z向馬達(dá)趨近距離18mm

樣品尺寸：40 mm x 50 mm x 15 mm

樣品定位：自動樣品臺范圍：5 mm x 5 mm

定位精度：1µm

AFM測試頭

激光波長：1300nm（光譜檢測器無干擾）

系統(tǒng)噪聲：< 0.1 nm

激光準(zhǔn)直：全自動懸臂—光電二極管激光準(zhǔn)直

全電動：4步進(jìn)電機(jī)懸臂和光電二極管自動對準(zhǔn)；

SPM測量模式

標(biāo)準(zhǔn)模式：接觸模式、半接觸模式、非接觸模式、相位成像模式、側(cè)向力模式（LFM）、力調(diào)制模式、磁力顯微鏡模式（MFM）、開爾文探針模式（表面電勢，SKM，KPFM）、掃描電容模式、靜電力顯微鏡模式（EFM）、力曲線測量、壓電響應(yīng)模式（PFM）、納米蝕刻、納米操縱

升級模式：溶液環(huán)境接觸模式、溶液環(huán)境半接觸模式、導(dǎo)電力顯微鏡模式、STM模式、光電流成像模式、伏安特性曲線測量等

光譜模式

共聚焦拉曼、熒光和光致發(fā)光光譜和成像

針尖增強(qiáng)拉曼光譜（AFM，STM等）

針尖增強(qiáng)熒光

近場光學(xué)顯微鏡和光譜(NSOM/SNOM)

導(dǎo)電力AFM（選購）

電流范圍：100fA~10µA;三檔量程自動切換（1 nA, 100 nA 和 10 µA）

光路耦合通道

頂部和側(cè)向能夠同時使用消色差物鏡：從頂部或側(cè)向最高可用100X，NA0.7物鏡；可同時使用20倍和100倍

長期光譜激光穩(wěn)定對準(zhǔn)的閉環(huán)壓電物鏡掃描器：范圍20µm x 20µm x 15µm；分辨率：1nm

光譜儀

全自動高分辨率LabRAM HR Evolution顯微光譜儀，可獨(dú)立使用顯微拉曼光譜儀

波長范圍：50 cm-1至4000 cm-1或更低至10 cm-1（選購）

光柵：選擇150 g/mm至3600 g/mm的光柵；2個光柵安裝在計算機(jī)控制的轉(zhuǎn)臺上，運(yùn)動安裝，易于更換

光學(xué)設(shè)計：消色差光譜儀和消色差耦合光學(xué)部件

自動化：全自動，軟件控制操作

檢測器

全光譜范圍CCD和EMCCD檢測器，紅外檢測器：InGaAs陣列檢測器，單通道擴(kuò)展InGaAs，InSb，CdTe，…

光源

波長：從DUV（229nm）到IR（高達(dá)2.2µm）的全波長范圍

典型波長：532nm、638nm、785nm

自動化：全自動激光器和濾波器切換，可同時自動切換3激光器；全波長范圍可選激光偏振和光譜分析儀

軟件

集成軟件包，包括全功能SPM、光譜儀和數(shù)據(jù)采集控制、光譜和SPM數(shù)據(jù)分析和處理套件，包括光譜擬合、去卷積和濾波，可選模塊包括單變量和多變量分析套件（PCA、MCR、HCA、DCA），顆粒檢測和光譜搜索功能。