MX61A是一款專門設(shè)計的半導體顯微鏡，可使操作人員以正確的人體工程學姿勢進行操作，有利于操作人員在長時間的工作中順利進行檢測，保證了工作的效率和產(chǎn)品一體化。

始終提供觀察影像的光學系統(tǒng)       

*的缺陷檢查能力       

采用了新穎的光學系統(tǒng)（UIS2），特別增強了明視場、暗視場的性能，從而提高了辨別和確認缺陷的能力。明視場圖像的色溫化，實現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)，暗視場圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產(chǎn)品比較）。       

觀察影像實例

明視場觀察

新暗視場觀察

傳統(tǒng)的暗視場觀察

自動調(diào)節(jié)亮度       

亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖

物鏡選擇和觀察方法切換連動，自動地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。                   

對應各種設(shè)備的實時AF       

深紫外線觀察用物鏡

MX61A裝載了在對焦精度、對焦速度上性能*的動態(tài)AF。新開發(fā)的多點方式的傳感器的采用，大幅度的提高了對焦時的穩(wěn)定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中，實現(xiàn)了追蹤觀察位置的實時對焦。                   

對應多種觀察方法       

物鏡UIS2系列產(chǎn)品

在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀察單元組合，可以在一臺顯微鏡上進行明視場、暗視場、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。                        
觀察方法的切換非常簡單，只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。                       

觀察影像實例

明視場觀察

暗視場觀察

微分干涉觀察

熒光觀察

近紅外線觀察（左）和可見光線觀察（右）的比較

                    

提供擴展性的解決方案       

提供擴展性的解決方案       

適應分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模塊

"顯微鏡控制軟件"作為核心對MX61A系統(tǒng)全體進行控制。這個應用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數(shù)碼照相機、電動載物臺等外圍設(shè)備。軟件進一步拓展了MX61A的擴張性，滿足了不斷變化的分析需求。                       

實現(xiàn)對人和環(huán)境都沒有危害的自動化       

符合SEMI S2/S8標準       

符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關(guān)安全的基準），S8-0705（有關(guān)人體工程學的基準）和CE標識（歐洲強制性認證）等的國際標準。符合人體工程學和安全對策等，高水準的確保了可靠性。       

可選的傾斜觀察筒       

傾斜觀察筒示意圖

備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒。可以根據(jù)用途選擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號，或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號。                   

潔凈對應的電動物鏡轉(zhuǎn)換器       

潔凈對應的電動物鏡轉(zhuǎn)換器

備有兩種堅固耐用的潔凈型電動物鏡轉(zhuǎn)換器。                       
6孔和5孔中心補正型號的明暗視場電動物鏡轉(zhuǎn)換器，采用了新型馬達，實現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。                   

高抗振本體       

高倍率觀察圖像示意圖

采用了不易受振動影響的高度剛性儀器機架。即便是高倍率觀察，也不會出現(xiàn)影像模糊的情況。                   

可以觸摸屏操作的手控開關(guān)       

手控開關(guān)操作部

 配備了觸摸屏操作的手控開關(guān)，可以在檢查時執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的最合適的觀察影像。自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時的載物臺退出均可以執(zhí)行。                   

幫助實現(xiàn)多種觀察的附件       

晶圓搬送機組合       

晶圓搬送機

可以對應直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實現(xiàn)了對90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。                   

自動載物臺組合       

自動載物臺