全計(jì)算機(jī)控制的多功能離子減薄系統(tǒng),有高度的靈活性

主要特點(diǎn):

減薄角度可調(diào)由0º至90º

一體化設(shè)計(jì),重復(fù)性實(shí)驗(yàn)設(shè)備,可靠具操作性

全電腦控制,精確的參數(shù)調(diào)整,運(yùn)行中無(wú)需人干涉

鞍式離子槍,高能量-快速蝕刻

制冷系統(tǒng),銅傳導(dǎo),確保TEM,SEM在低溫下操作

主機(jī)內(nèi)置2級(jí)泵,確保高真空

減少裝卸時(shí)間,高效率

操作簡(jiǎn)便直觀,帶自保護(hù)防止離子溢出與過(guò)熱功能

法拉力環(huán)檢查樣品是否穿孔,自動(dòng)終止功能

裝載閘保持系統(tǒng)高真空度穩(wěn)定不變

減薄過(guò)程中離子能量高低可調(diào)

內(nèi)置視頻監(jiān)視器,直接觀察樣品減薄情況

可編程,觸摸屏設(shè)計(jì),直觀操作