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RTP快速升降溫退火爐的詳細(xì)介紹RTP快速升降溫退火爐MXG1200-100-SL-RTP開(kāi)啟式RTP快速升降溫退火爐,是由我公司自主研發(fā)的高性能熱處理設(shè)備

RTP快速升降溫退火爐 燃?xì)忮仩t詳細(xì)信息

RTP快速升降溫退火爐  的詳細(xì)介紹
RTP快速升降溫退火爐 MXG1200-100-SL-RTP
   開(kāi)啟式RTP快速升降溫退火爐,是由我公司自主研發(fā)的高性能熱處理設(shè)備。本產(chǎn)品采用制造工藝,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體上下兩半設(shè)計(jì),可自由打開(kāi)閉合,***可靠,爐管外徑100mm,爐膛采用高純氧化鋁纖維材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高溫保護(hù)涂層,既能降低熱量損耗,還能提高爐內(nèi)溫度穩(wěn)定性。試驗(yàn)樣品放置于密封的石英管內(nèi),內(nèi)部潔凈度高,可降低間接污染的可能。已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及等領(lǐng)域,該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火,也可用于歐姆接觸快速合金,還可用于硅化物合金退火,氧化物生長(zhǎng),以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。本產(chǎn)品采用紅外加熱,升溫速度快達(dá)30℃/S,爐體下部配有軌道,可左右移動(dòng)至底部風(fēng)扇處,以達(dá)到快速冷卻的目的。
技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 主要技術(shù)指標(biāo) 數(shù)據(jù)
規(guī)格型號(hào) MXG1200-100-SL-RTP
溫度控制 溫度點(diǎn) 1200℃
額定溫度 1100℃
穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍 200-1050℃
溫度測(cè)量精度 ±0.2℃
溫度控制重復(fù)性 ±1℃
溫度控制**度 ±1℃
溫度均勻性 ±2℃
溫度狀態(tài)工藝時(shí)間 7-32 S(200-1050℃)
快升溫速率 30℃/S(可按需定制)
降溫速率 1-200℃(將試樣移出加熱區(qū)域或通氮?dú)饪杉涌旖禍兀?/td>
溫度控制模式 智能模糊PID全閉環(huán)控制
觸摸屏 尺寸 7寸LCD 工控
物理指標(biāo) 功率 18 Kw
額定電壓 AC380V,50/60Hz
測(cè)溫元件型號(hào) K型熱電偶
石英管規(guī)格 Φ100*1500
真空度 選配分子泵真空度可達(dá)4*10-3Pa
抽氣端口尺寸 KF25或Φ6mm
進(jìn)氣端口尺寸 Φ6mm
冷卻方式 自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N(xiāo)2或壓縮空氣:2psi(0.14kg/cm2)– 7psi(0.5kg/cm2)
外形尺寸 深500*寬1520*高620
設(shè)備重量 80Kg


關(guān)鍵詞:退火爐 熱電偶

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