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產(chǎn)品簡介
TargetSystem 特性
TargetSystem 設計用于微電子組件和扁平化目標制備。這是款失效分析工具,可對可見目標和隱藏目標進行實時對齊和測量,例如微型穿孔和 BGA。系統(tǒng)精度高達 +/- 5 µm。
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