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產(chǎn)品簡介
● 徠卡DM12000M全新的光學設計,可以提供宏觀模式快速初檢,以及傾斜紫外光路功能(OUV, 傾斜紫外觀察模式), 不單提升了分辨率還提高了檢查12英寸(300毫米)硅片的產(chǎn)能 。
● *新的 LED 照明技術 ,一體化設計并整合在顯微鏡上,低熱輻射和機身內一體化技術確保了*理想的機身外空氣流動狀態(tài)。低能耗的節(jié)電設計大大延長了使用壽命,符合綠色環(huán)保的理念。
● 一鍵式的操控設計使用戶可以輕易地完成倍率轉換和相關的照明和相襯效果。
技術參數(shù):
● 上等智能數(shù)字式正置金相顯微鏡,適合晶圓、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、粉塵顆粒等樣品的觀察分析,多種安全設計,保護晶圓、鏡頭及觀察者
● 模塊化設計,可實現(xiàn)反射觀察、透反射觀察配置
● 復消色差光路,整體光路支持25mm視野直徑
● 可選配UV光源,提高觀察分辨率至亞微米結構,UV由大功率LED產(chǎn)生,具有UV和OUV功能
● 12×12大樣品臺,可實現(xiàn)8”晶圓的直接觀察
● 6孔位電動物鏡轉盤,配接32mm直徑長工作距離工業(yè)物鏡
● 內置電動或手動調焦系統(tǒng)
● 0.7X宏觀物鏡,具有宏觀晶圓檢查功能
● 可實現(xiàn)明場、暗場、偏光、干涉和斜照明觀察方式
● 機身內置LED透、反射照明電源,智能光強變化的控制照明方式
● 能自動記憶在不同物鏡下和不同觀察方式下*佳的光強、光闌大小及聚光鏡的組合,自動恢復到位,操作簡單快速
● 機座配觸摸按鈕,控制顯微鏡的操作
● 光強、光闌、觀察方式調節(jié)和聚光鏡調節(jié)除可由按鍵控制外,還可由計算機控制操作,并自動在不同倍數(shù)物鏡下拍的照片中加相應倍數(shù)標尺
● 具有色溫恒定系統(tǒng),提高工作效率
● 可配接攝像頭、數(shù)碼相機進行圖像采集、分析、測量
● 可配接熒光觀察、高溫熱臺、陰極發(fā)光儀、光度計
● 可配接自動掃描臺進行多視場非金屬夾雜物和顆粒粒度、清潔度分析
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