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顯微分光膜厚儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)北京卓立漢光儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)OPTM 系列
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2021/8/12 11:28:04
  • 訪問(wèn)次數(shù)569
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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     北京卓立漢光儀器有限公司是一家集光學(xué)、精密機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)技術(shù)于一體的高科技企業(yè)。卓立漢光自1999年起,通過(guò)數(shù)年的不斷努力,成長(zhǎng)為光電儀器廠商。目前公司的電控位移臺(tái)、手動(dòng)位移臺(tái)、光學(xué)調(diào)整架等產(chǎn)品已經(jīng)形成產(chǎn)品系列化,規(guī)格多元化,國(guó)內(nèi)多家科研單位、激光加工設(shè)備廠商、光纖設(shè)備廠商在使用我們的產(chǎn)品。2000年推出我司*套量產(chǎn)型三光柵光譜儀后,不斷推出了多套熒光、拉曼、光電探測(cè)器光譜響應(yīng)、太陽(yáng)能電池檢測(cè)等光譜測(cè)量系統(tǒng),廣泛應(yīng)用在眾多高校和科研院所的研究與試驗(yàn),為國(guó)家科技創(chuàng)新貢獻(xiàn)了一份力量,產(chǎn)品憑借優(yōu)良的品質(zhì)遠(yuǎn)銷(xiāo)歐美、東南亞等海外市場(chǎng)。 2005年10月在同行業(yè)中*通過(guò)ISO9001質(zhì)量管理體系SGS認(rèn)證。2010年取得國(guó)家*認(rèn)定,2016年卓立漢光技術(shù)中心順利通過(guò)市級(jí)技術(shù)中心評(píng)審。

     卓立漢光主要生產(chǎn)經(jīng)營(yíng):熒光/拉曼光譜系統(tǒng)、各類(lèi)光譜測(cè)量系統(tǒng)、太陽(yáng)能電池檢測(cè)儀器、光柵光譜儀、各類(lèi)型光源及探測(cè)器、電控精密位移臺(tái)、手動(dòng)精密位移臺(tái)、光學(xué)調(diào)整架、光學(xué)平臺(tái)、光學(xué)元件等系列產(chǎn)品。

分光光度計(jì),光纖光譜儀
OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)反射率進(jìn)行測(cè)量,可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析??赏ㄟ^(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量,并且搭載了即使是初次使用的用戶(hù),也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。
顯微分光膜厚儀 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品概述

OPTM 系列顯微分光膜厚儀
頭部集成了薄膜厚度測(cè)量所需功能
通過(guò)顯微光譜法測(cè)量高精度反射率(多層膜厚度,光學(xué)常數(shù))
1點(diǎn)1秒高速測(cè)量
顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外至近紅外)
區(qū)域傳感器的安全機(jī)制
易于分析向?qū)?,初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
獨(dú)立測(cè)量頭對(duì)應(yīng)各種inline客制化需求
支持各種自定義
 
OPTM 系列顯微分光膜厚儀選型表
 
OPTM-A1OPTM-A2OPTM-A3
波長(zhǎng)范圍230 ~ 800 nm360 ~ 1100 nm900 ~ 1600 nm
膜厚范圍1nm ~ 35μm7nm ~ 49μm16nm ~ 92μm
測(cè)定時(shí)間1秒 / 1點(diǎn)
光斑大小10μm (*小約5μm)
感光元件CCDInGaAs
光源規(guī)格氘燈+鹵素?zé)? 鹵素?zé)?/td>
電源規(guī)格AC100V±10V 750VA(自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格)
尺寸555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分)
重量約 55kg(自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分)
 

測(cè)量項(xiàng)目:

反射率測(cè)量
多層膜解析
光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光系數(shù))

 

測(cè)量示例:SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測(cè)量

半導(dǎo)體晶體管通過(guò)控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來(lái)發(fā)送信號(hào),但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過(guò)任意路徑,有必要隔離晶體管,埋入絕緣膜。 SiO 2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜,而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜,或是作為通過(guò)CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精確的工藝控制,有必要測(cè)量這些膜厚度。

 
關(guān)鍵詞:傳感器
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