新型的PuraPlus是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標的需求變化而特殊設(shè)計的

新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標的需求變化而特殊設(shè)計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)最末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級別下 1 ppb 的異動的響應(yīng)時間小于1 分鐘。 亮點 對 ppb 級別濕度異動的快速響應(yīng) 低濕 ppb 級別的靈敏度 (<1 ppb) 多點測量安裝的全新概念 維護要求低 信號燈式的狀態(tài)指示 可設(shè)置警告和報警點 Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容 遠程控制界面的多通道軟件 (UHP) 超純氣體的管線檢測
技術(shù)指標
響應(yīng)速度 <1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應(yīng)時間 濕度量程 1 ppb to 20,000 ppm 壓力范圍 0 to 10 bar 耐壓等級 300 bar 泄漏測試 0-9 mbar l/s 工作流量范圍 1 ~ 10 l/min 工作溫度 5 ~ 40°C 存儲溫度 30 ~ 70°C 電源 20 ~ 28 V DC 功耗 5 W 外部保險絲等級 500 mA 快熔型 數(shù)據(jù)輸出 Modbus ASCII 兩線 RS485 警告和報警輸出 2 路 電壓 40 V DC 電流 100 mA 氣體接觸的材質(zhì) 外殼材質(zhì) 不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra 傳感器結(jié)構(gòu) 氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護, 下層鋁層 內(nèi)部容積 4.4cm³ 重量 450g 氣路接口 1/4" m VCR 電氣接口 9 - 針 D - 型 m 接口 電磁兼容性 EN50081-2 和 EN50082-2