1KW自動(dòng)匹配器(帶顯示)
由國(guó)內(nèi)外提供技術(shù),國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的GMPOWER品牌射頻自動(dòng)匹配器,廣泛適用于等離子刻蝕體、鍍膜、清洗、等離子體增強(qiáng)、感應(yīng)加熱以及太陽(yáng)能制造設(shè)備PECVD制造中,具有功率覆蓋范圍大(50W-5KW)、匹配時(shí)間短(≤3秒)、指示功能全、操作簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì),可通過(guò)數(shù)字接口實(shí)施計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)采集和控制,輕松實(shí)現(xiàn)時(shí)入射功率、反入射功率、直流偏壓等的精確測(cè)量。該匹配器與電源*獨(dú)立,可配置AE、COMDEL、MKS、微電子中心等多家品牌的射頻電源,限度節(jié)約射頻系統(tǒng)成本.
產(chǎn)品描述
*功率:600W/、1KW 頻率:13.56MHz
*系統(tǒng)采用高速配算法,即使系統(tǒng)處于高Q值也可在接近匹配點(diǎn)時(shí)減速,達(dá)到精確匹配效果
*標(biāo)準(zhǔn)配置采用可調(diào)的L型匹配網(wǎng)絡(luò),滿(mǎn)足絕大部分負(fù)載要求,也可根據(jù)客戶(hù)負(fù)載陰抗設(shè)計(jì)配置匹配網(wǎng)絡(luò),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)匹配
*內(nèi)置數(shù)字功率計(jì),可現(xiàn)實(shí)入射功率、反射功率、指示精度3%,有效彌補(bǔ)國(guó)內(nèi)電源功率指示不標(biāo)準(zhǔn)問(wèn)題
1Kw有顯示 | |||
電源輸出 | AC180-240V 50Hz | 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
輸出電流 | 0.5A | 機(jī)箱尺寸 | 450mm(長(zhǎng))*320mm(寬)*133.5(高) |
射頻功率范圍 | 0-1KW | 面板尺寸 | 480mm(長(zhǎng))*140mm(高) |
射頻工作頻率 | 13.56MHz | 重量 | 8kg |
射頻輸入接頭 | N型或UHF型 | ||
射頻輸出接頭 | N型/UHF型/銅帶型 | ||
用戶(hù)接口 | DB15針接口,采用RS232、RS485通訊協(xié)議 | ||


















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