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  • 奧林巴斯AL120晶圓搬送機 金相顯微鏡
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2024/11/8 9:27:42

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AL120晶圓搬送機詳細介紹:適應(yīng)范圍廣、搭配靈活對應(yīng)多種尺寸組合我們推出了200mm專用型、200mm/150mm兼用型和150mm型(對應(yīng)小于150mm的晶圓)的3種型號

奧林巴斯AL120晶圓搬送機 金相顯微鏡詳細信息

AL120晶圓搬送機詳細介紹:

適應(yīng)范圍廣、搭配靈活
 
對應(yīng)多種尺寸組合

我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應(yīng)小于150 mm的晶圓)的3種型號。除此以外,您還可以根據(jù)檢查模式,選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。

晶圓尺寸•厚度對應(yīng)表
 
薄片檢查

對應(yīng)薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。
 
高度實用性
 
進一步優(yōu)化的宏觀檢查


背面宏觀360゜旋轉(zhuǎn)
•宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。
• 利用360゜旋轉(zhuǎn)功能,*可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)。此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓傾斜30゜進行觀察。
 
操作便捷

• 為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,AL120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度??焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
•晶圓搬送機的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應(yīng)SLOT,便于操作者再次確認。
•AL120使用非接觸光學(xué)定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。
 
高度可靠性
 
優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全

•為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計。
•在安全性和人機工學(xué)上通過了SEMI S2/S8檢測,同時,在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令。
 
堅固、耐用的顯微鏡底座

AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法,包括:明視場、暗視場、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實現(xiàn)了的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,AL120還可以應(yīng)用到其他型號的顯微鏡上。
 
人機工程學(xué)設(shè)計的載物臺

•手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標(biāo)準功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。
•可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動載物臺,進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。 

關(guān)鍵詞:顯微鏡

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