INFICON CrystalSix六探頭是長(zhǎng)過(guò)程中連續(xù)速率控制的關(guān)鍵設(shè)備。

無(wú)論是 OLED，MBE，太陽(yáng)能，長(zhǎng)過(guò)程光學(xué)鍍膜，或在兩次放空

之間有一個(gè)長(zhǎng)的時(shí)間周期的其它過(guò)程，CrystalSix六探頭提供6片

石英監(jiān)測(cè)晶體在一個(gè)六探頭探頭內(nèi)的可靠性。當(dāng)使用INFICON薄

膜控制儀, 一旦晶體損壞或變得不穩(wěn)定時(shí)。CrystalSix自動(dòng)將新的

晶體旋轉(zhuǎn)到位。晶體被自動(dòng)更換,不影響過(guò)程的連續(xù)沉積速率監(jiān)測(cè)

規(guī)格 特性

CrystalSix六探頭由氣動(dòng)機(jī)構(gòu)自動(dòng)完成晶體的標(biāo)引. 與采用昂貴的

在真空中發(fā)熱的電動(dòng)馬達(dá)的競(jìng)爭(zhēng)性儀器相比， 這個(gè)氣動(dòng)的驅(qū)動(dòng)馬

達(dá)提供更好的晶體熱穩(wěn)定性。1 / 8 " 冷卻水管可保持六探頭的熱 

穩(wěn)定性和六探頭布局的靈活性。 
與 INFICON  薄膜控制儀一起使用時(shí)，六探頭提供位置反饋，從 

而可使用特定材料于特定的位置。

優(yōu)點(diǎn) 
 
■   六探頭內(nèi) 6 片晶體有堅(jiān)固耐用,  過(guò)程運(yùn)行時(shí)間自動(dòng)轉(zhuǎn)換的功能 
 
■  穩(wěn)定的晶體溫度是由于晶體的氣動(dòng)轉(zhuǎn)換  ( 競(jìng)爭(zhēng)性儀器使用發(fā)熱的馬達(dá))  

■  1/ 8 "  冷卻水管可保持熱穩(wěn)定性和六探頭布局的靈活性 
 
■  供應(yīng)可選的光學(xué)晶體擋板