性能指標

PR02

MR15&MD30

性能

前級泵內(nèi)置式

前級泵外置式及小車

前級泵       油式機械泵

DS-42 2 m³/hr (34 l/m)

DS-302 14 m³/hr (232 l/m)

渦卷式干泵

N/A

TS-620 30 m³/hr (500 l/m)

最小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下

5×10^-12atm cc/sec； 5×10^-12mbar l/s；5×10^-13Pa m³/sec helium

測試口耐壓

16 mbar，12 Torr，1600 Pa

測試口處對氦氣抽速

1.8 l/s

校準程序

自動或手動（內(nèi)置或外置）

氦本底清零

按鍵清零，并具有零點追蹤功能

操作界面

高清晰彩顯，TFT觸摸屏

語言選擇

中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語

循環(huán)檢測

可編程粗抽時間/測試時間，設置報廢點

響應時間

＜1.0秒

設定點

標準；5個設定點；常開或常閉；3個漏率點；1個壓強點；1個聲訊點

通訊協(xié)議

RS-232通訊借口，9600波特率（9芯竄口）

執(zhí)行標準

UL，CE，CSA