光譜共焦線傳感器原理圖
MPLS-DM包含該了180個獨(dú)立的光譜共焦通道，每個通道測量樣品表面上的單個點(diǎn)，并包含自己的點(diǎn)源，針孔和光譜儀。
在MPLS-DM中，控制器和光學(xué)頭通過連個光纖束連接。
束將控制器的內(nèi)部光源連接到鏡頭的入射面；
180束光纖電纜的成為180個通道點(diǎn)光源。
第二束連接光譜儀輸出平面；180根光纖的實(shí)現(xiàn)了180個通道的針孔。
STIL光譜共焦線掃傳感器技術(shù)參數(shù)
| 線掃傳感器型號 | unit | MPLS-DM NANOVIEW | MPLS-DM WIREVIEW | MPLS-DM MICROVIEW | MPLS-DM DEEPVIEW | MPLS-DM SUPERIEW | ||||
| 線長 | mm | 1.34 | 1.51 | 1.8 | 4.2 | 12.85 | ||||
| 測量范圍(2KHZ) | mm | 0.1 | 0.9 | 0.5 | 2.6 | 2 | ||||
| 測量范圍(4KHZ) | mm | 0.045 | 0.45 | 0.235 | 1.45 | 0.9 | ||||
| 測量范圍(6KHZ) | mm | 0.025 | 0.24 | 0.12 | 0.65 | 0.5 | ||||
| 工作距離 | mm | 7.5 | 7.8 | 10.1 | 19.5 | 11.3 | ||||
| 數(shù)值孔徑 | 0.75 | 0.75 | 0.5 | 0.37 | 0.33 | |||||
| 樣品斜度 | ° | 40 | 46 | 30 | 20 | 17 | ||||
| 光斑間距 | μm | 7.5 | 8.5 | 10.1 | 23.5 | 71.8 | ||||
| 光斑直徑 | μm | 2.9 | 3.2 | 3.8 | 8.8 | 27.2 | ||||
| 靜態(tài)噪音 | nm | 25 | 150 | 100 | 300 | 300 | ||||
| 軸向分辨率 | μm | 0.15 | 0.9 | 0.6 | 1.8 | 1.8 | ||||
| 線性誤差 | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.08 | ±0.12 | ±0.12 | ||||
| 均勻性 | nm | 30 | 200 | 125 | 400 | 400 | ||||
| 最小可測厚度 | μm | 18 | 110 | 50 | 250 | 300 | ||||
| 長度 | mm | 434.4 | 480.7 | 425.6 | 428.3 | 397.8 | ||||
| 直徑 | mm | 50 | 70 | 50 | 60 | 60 | ||||
| 重量 | g | 1600 | 2200 | 1600 | 2800 | 2550 | ||||
備注：
.測量范圍（MR）,表中的數(shù)值是一臺MPLS的標(biāo)稱值；
.工作距離,是光學(xué)頭至測量范圍開始端之間的距離，表中數(shù)值是典型值；
.線性誤差,是將傳感器測得的距離長度與1nm編碼器測得的長度進(jìn)行比較，觀察到的誤差。該步驟可位于MR內(nèi)部任何位置。出廠校準(zhǔn)后立刻在如下條件下測量此功能：
-每套通道的測量進(jìn)行平均，以消除靜態(tài)噪聲;
-信號電平較高，但不飽和;
.樣品斜度，光軸和局部表面坡度之間的夾角。可測傾斜角適用于鏡面（鏡狀樣品）表面。散射表面，角度可能更大。當(dāng)傾斜角度增加時，收集信號的強(qiáng)度會減小。該表中的值是鏡面上測得的;
.均勻性是由一個MPLS-DM傳感器的180個通道在一個對齊平面上測量的值的變化量(RMS)。此功能在工廠校準(zhǔn)后立即測量，并具有的條件和設(shè)置;
.標(biāo)配光譜共焦線傳感器出廠都是按照2KHZ采樣頻率標(biāo)定，如果需要使用4K或者6K采樣頻率，訂貨時請?zhí)崆白⒚?，同時注意采樣頻率提高后，測量范圍會相應(yīng)變小，詳情可參考上面參數(shù);
控制器技術(shù)規(guī)格
| 控制器 | MPLS-DM |
| 核心原理 | 光譜共聚焦 |
| 光源 | 白色LED燈 |
| 點(diǎn)數(shù) | 180 |
| 采樣頻率 | 標(biāo)配200-2000HZ(可達(dá)6000HZ，但量程會變小) |
| 位移測量模式 | Highest/First/Second/Third/Fourth/Last Peak |
| 厚度測量模式 | 2-5個波峰 |
| 數(shù)據(jù)輸出 | 以太網(wǎng)口 |
| 同步信號 | Trigger in&out |
| 其它輸入/輸出信號 | 編碼器信號輸入 |
| 光纖線長度 | 5m |
| 工作溫度 | 5℃-50℃ |
| 存儲溫度 | -30℃-70℃ |
| 相對濕度 | 5%-80% HR無冷凝 |
| 防護(hù)等級 | IP20 |
| 符合標(biāo)準(zhǔn) | EN61010-1;EN61326-1 |
| 電源 | 100-240V |
| /常用功率 | 120W/70W |
| 外形尺寸(mm) | 448.9*184*497 |
| 重量 | 14.5KG |
STIL光譜共焦線掃傳感器測頭和控制器外形尺寸
傳感器探頭外形（詳見上述參數(shù)表）
控制器外形
STIL光譜共焦線掃傳感器的相關(guān)軟件
線傳感器需要配備win7以上操作系統(tǒng)，SDK與傳感器一起提供，包括：
-C++動態(tài)庫源代碼
-NET動態(tài)庫
-“線傳感器示例”程序
-傳感器用戶手冊和操作說明
使用"線傳感器"，可完成即時任務(wù)：
-連接傳感器
-保存且加載配置文件
-改變傳感器設(shè)置（LED強(qiáng)度、測量頻率、觸發(fā)選項(xiàng)...）
-啟動測量，觀察，保存數(shù)據(jù)
-執(zhí)行用于校準(zhǔn)
程序已顯示模式：“線--線”和"圖像",在圖像模式下，每個板塊的N行線，顯示N*180大小的圖像
在"Line sensor Example"中顯示的"Line view"。180個橙色條表示測量距離，180個黑色條表示測量強(qiáng)度。
在"Line sensor Example"中顯示的"Image view"。每個像素的顏色表示高度值。
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