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  • 反應(yīng)離子束刻蝕
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2021/7/28 12:36:00

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反應(yīng)離子束刻蝕

反應(yīng)離子束刻蝕詳細(xì)信息

反應(yīng)離子束刻蝕


型號:NRE-4000

廠家:美國Nanomaster公司
技術(shù)指標(biāo):
  反應(yīng)氣體:O2, Ar, CF4,CHF3,SF6
 RF功率:600W 
 電極尺寸:240mm
 刻蝕材料:氧化物、半導(dǎo)體、金屬等
 晶片尺寸:6英寸
主要功能及應(yīng)用范圍:
    用于各種材料的離子束反應(yīng)刻蝕,輔助形成微/納結(jié)構(gòu)??捎糜诟鞣N微納器件與結(jié)構(gòu)的制作,如:微納電子器件,光電子器件,生物傳感器,微納機(jī)電系統(tǒng),超導(dǎo)電子學(xué)器件,磁電子學(xué)器件等,也是研究材料在低維度、小尺寸下量子行為的重要輔助工具。
 

 

關(guān)鍵詞:傳感器

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