瑞士Sawatec Leaflet_ispay-300_cn 3D微觀結(jié)構(gòu)的均勻噴涂機

針對具備高度結(jié)構(gòu)化晶圓形貌、深度 MEMS 結(jié)構(gòu)或不平整表面特征的基板，SAWATEC 公司的 iSPRAY 能夠確保盡可能均勻的噴涂效果。它是一款精密的噴膠機，適用于手動噴涂或噴霧顯影工藝，主要被應(yīng)用于研究與開發(fā)實驗室，尤其是 MEMS 加工的試產(chǎn)和小量產(chǎn)場合。

經(jīng)過工藝優(yōu)化的噴嘴能夠結(jié)合低粘度的、特別適用于噴涂作業(yè)的光刻膠(例如 Shipley1813、AZ 4999、AZ 9260、SU8 等)生成細的小液滴。在一個封閉式工藝室中噴嘴經(jīng)由“弓”字型行進路徑進行噴涂，由此可以確保整個基板表面上均勻的噴涂效果以及高度可再現(xiàn)性。該設(shè)備可用于圓形或正方形基板，最多可同時噴涂 4 個晶基。

功能（基本配置）

?？删幊?，最多 50 個程序(各包含 24 個程序段)

。適用于重復(fù)工藝的快速啟動功能

。觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置

。工藝參數(shù)：噴嘴行進路徑，噴灑臂速度，噴灑時間，錐形束形狀電氣驅(qū)動的噴灑臂，其在 X 或 Y 軸方向上的速度可選

?？烧{(diào)整的噴嘴，具有恒定的噴灑壓力和自動的清潔功能

。手動裝卸基板

。工藝結(jié)束時的聲音信號

性能數(shù)據(jù)

。噴灑量：(50 cl) 容量的緩沖裝置，結(jié)合具有液位檢查功能的給膠泵

。噴灑介質(zhì)的粘度：0.3 至 25 cSt (µPas)

。噴嘴：液滴尺寸小于 7 微米，典型：3微米

。噴灑臂的速度和定位精度： 0.4 m/s；±0.1mm

。每個分段的噴灑時間：最長為9999 秒，調(diào)節(jié)步幅為 0.1 秒

。噴灑循環(huán)的數(shù)目：最多 20 個曲回循環(huán)環(huán)境溫度：+4 至 +60°C

附加功能(可選項)

。加熱板溫度為 150°C，可用加熱面為 Ø300mm

。旋轉(zhuǎn)卡盤轉(zhuǎn)速為6,000rpm +/-1rpm 1)

。可加熱的旋轉(zhuǎn)卡盤，轉(zhuǎn)速為 1,500 rpm， 溫度為 150°C

。噴嘴用 Z 升降軸

附加裝備

X 與 Y 方向上標準的噴灑方式還可與一個轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)卡盤(帶有或沒有加熱裝置)相結(jié)合，進而改善特定形貌上噴涂的分布情況以及提高噴涂全面性。

此外，還可以在 iSPRAY-300 上裝配一個加熱板。這樣一來，即使是高粘度的光刻膠也能對少量覆蓋的孔洞進行有效成形， 以及確保邊緣涂布。

設(shè)計和尺寸

。電解拋光不銹鋼制成的可移動機身

。不銹鋼制工藝腔體

?？捎^察工藝過程的玻璃前門

。用于噴嘴定位的精密 AC 伺服電機

。尺寸：850 x 750 x 2333mm(長 x 寬 x 高) 重量：約220kg