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PlasmaPro 100 Estrelas牛津深硅刻蝕系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市藍星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2021/7/14 9:26:59
  • 訪問次數(shù)556
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深圳市藍星宇電子科技有限公司,經過十多年的紫外光專業(yè)技術沉淀,可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務,研發(fā)設計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準分子清洗機,等離子清洗機/去膠機等科研以及生產設備,擁有自主品牌及注冊商標。 同時我們代理歐美日多家高科技設備廠家高性價比產品, 始終堅持創(chuàng)新, 技術, 服務, 誠信的企業(yè)文化,為廣大中國及海外客戶提供的儀器設備和材料的整體解決方案。 應用領域: 半導體/微納,光電/光學, 生命科學/生物醫(yī)療等領域的研發(fā)和生產, 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構等。 半導體/微納,光電/光學 產品主要有: 德國ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機,電子束光刻機, 激光直寫光刻機,紫外光刻機,微納3D打印機,德國Sentech刻蝕機/鍍膜機及原子沉積,英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機,微波離子沉積機MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機,電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質譜/波譜儀,美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機/UV清洗燈,美國Jelight紫外清洗機/紫外燈管,德國Diener等離子清洗機等*技術產品。 生命科學/生物醫(yī)療 產品主要有:PCR儀,核酸質譜儀/核酸檢測儀,電子顯微鏡,紫外設備,光譜/色譜/質譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實驗耗材等。 并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關產品。我們以高性價比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質的產品與服務,為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構等客戶提供儀器設備和材料。
電子顯微鏡
PlasmaPro 100 Estrelas牛津深硅刻蝕系統(tǒng),平臺旨在提供深硅蝕刻(DSiE)領域的的靈活性以滿足微電子機械系統(tǒng)(MEMS)、 *封裝以及納米技術市場的各種工藝要求??紤]到研究和生產的市場發(fā)展,PlasmaPro 100 Estrelas 提供了更加出色的工藝靈活性。
PlasmaPro 100 Estrelas牛津深硅刻蝕系統(tǒng) 產品信息

PlasmaPro 100 Estrelas牛津深硅刻蝕系統(tǒng)

PlasmaPro 100 Estrelas 平臺旨在提供深硅蝕刻(DSiE)領域的的靈活性以滿足微電子機械系統(tǒng)(MEMS)、 *封裝以及納米技術市場的各種工藝要求??紤]到研究和生產的市場發(fā)展,PlasmaPro 100 Estrelas 提供了更加出色的工藝靈活性。

。光滑側壁工藝
。高刻蝕速率腔刻蝕
。高深寬比工藝
。錐形通孔刻蝕
。廣泛的應用領域
。機械或靜電壓盤
。加熱內襯
。改善重復性
。延長了兩次清洗間的平均時間間隔(MTBC)

概述:

PlasmaPro 100 Estrelas平臺旨在確保覆蓋MEMS,*封裝和納米技術的廣泛應用,從光滑側壁工藝到高刻蝕速率腔刻蝕、高深寬比工藝和錐形通孔刻蝕,不需要更換腔室硬件就可以實現(xiàn)。

特征:

硬件設計使同一腔室中可進行Bosch™和超低溫刻蝕工藝,使得納米和微米結構刻蝕均可實現(xiàn)。

兼容50mm至200mm的襯底 - 確保您只需一臺系統(tǒng),便具備從研發(fā)器件到量產的能力

自動匹配 - 擁有工藝靈活性

更高流量的質量流量計以及等離子發(fā)生器 - 自由基密度更高

減小的腔體尺寸和高效率的泵 - 確保氣體高速流通

快速近距離耦合質量流量計 - 快速控制(初始為ALD而開發(fā))

應用:

· 硅 Bosch和超低溫刻蝕工藝

· 二氧化硅和石英刻蝕

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