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VPG1600海德堡Heidelberg 終級型大尺寸掩膜版光刻機(jī)

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公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
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所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2021/7/14 8:28:29
訪問次數(shù)423

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司，經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀，可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù)，研發(fā)設(shè)計組裝：紫外臭氧清洗機(jī)（UV清洗機(jī)），準(zhǔn)分子清洗機(jī)，等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備，擁有自主品牌及注冊商標(biāo)。同時我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價比產(chǎn)品, 始終堅持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠信的企業(yè)文化，為廣大中國及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有：德國ParcanNano（Nano analytik）針尖光刻機(jī)，電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī)，紫外光刻機(jī)，微納3D打印機(jī)，德國Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積，英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，微波離子沉積機(jī)MPCVD，芬蘭Picosun原子層沉積機(jī)，電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈，美國Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管，德國Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。生命科學(xué)/生物醫(yī)療產(chǎn)品主要有：PCR儀，核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測儀，電子顯微鏡，紫外設(shè)備，光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，生物芯片，試劑，實驗耗材等。并可依據(jù)客戶需求，研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，為高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。

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VPG1600海德堡Heidelberg 終級型大尺寸掩膜版生產(chǎn)工具,是海德堡科技在大型光學(xué)系統(tǒng)上科技的創(chuàng)新與突破的里程碑。其利用的技術(shù)寬闊的平行化曝光制程技術(shù)而開發(fā)出來的。

VPG1600海德堡Heidelberg 終級型大尺寸掩膜版光刻機(jī) 產(chǎn)品信息

VPG1600海德堡Heidelberg 終級型大尺寸掩膜版生產(chǎn)工具

新型Volume High Generator(VPG)大尺寸圖形發(fā)生器，是海德堡科技在大型光學(xué)系統(tǒng)上科技的創(chuàng)新與突破的里程碑。其利用的技術(shù)“寬闊的平行化曝光制程技術(shù)”而開發(fā)出來的。

VPG是目前掩膜板大尺寸，大批量生產(chǎn)的可靠而又經(jīng)濟(jì)的解決方案，特別適用諸如：需要大量掩膜版的電子封裝產(chǎn)業(yè)，彩色濾光片產(chǎn)業(yè)，以及其它特別需要大面積，而且高分辨率需求相關(guān)產(chǎn)業(yè)。另外，VPG還可以提供優(yōu)異的影像質(zhì)量與注記差異（實際掩膜板與資料的差異）。

VPG 設(shè)計有可以搭載多樣化不同尺寸的承載平臺，例如：1600mm*1400mm,1100mm*1100mm,800mm*800mm. 但這些系統(tǒng)都安裝有氣浮裝置，可配置半自動或者全自動的上下版裝置，并且可以選擇輸出功率20W的UV激光發(fā)射頭。微細(xì)化的寫入步距，可以確保*的粗糙度和連接邊界。平臺位置自動校正技術(shù)，可以進(jìn)行優(yōu)異的自我校正，以達(dá)到精準(zhǔn)的定位效果。