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  • 分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀
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2021/7/8 15:55:45

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產(chǎn)品簡介

A residual gas system configured for molecular beam epitaxy applications. Measures residual gases and provides for contamination and leak detection in MBE systems.

分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀詳細信息

HALO 201 MBE 分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過程監(jiān)測和殘余氣體的精確分析。

該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成,并能在分子束外延環(huán)境中長期使用。

 

·鉬銅布線增加MBE環(huán)境下系統(tǒng)的壽命

·抗污染離子源護罩

·雙法拉第/ channelplate電子倍增器

 

·質(zhì)量數(shù)范圍:   1~300 amu

·掃描速度:      100amu/s

·最小掃描步階:0.01amu

·靈敏度:         0.1 ppm~1ppm

·穩(wěn)定性:         24h以上,峰高變化小于±0.5%

·最小檢測分壓:2 x 10-13 mbar

·工作壓力:1 x 10-4 mbar

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)

關(guān)鍵詞:質(zhì)譜儀

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