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制藥網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>儀器儀表>藥物檢測儀器>其它藥物檢測儀器>LEM-CT-670-G50 實(shí)時膜厚檢測儀

  • 實(shí)時膜厚檢測儀
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品牌

廠商性質(zhì)

其他

型號

LEM-CT-670-G50

訪問次數(shù)

405

產(chǎn)地

更新時間

2021/7/1 8:49:38

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產(chǎn)品簡介

概要實(shí)時的干涉測量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時,使用干涉測量法。通過循環(huán),系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時監(jiān)測的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度,在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測?;谶@個相對簡單的理論,系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

實(shí)時膜厚檢測儀詳細(xì)信息

產(chǎn)品介紹

概要

實(shí)時的干涉測量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時,使用干涉測量法。通過循環(huán),系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時監(jiān)測的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度,在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測?;谶@個相對簡單的理論,系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

特征

  •  兩種類型的激光器,可兼容大范圍的薄膜,包括SiN, SiO2, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
  • 生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件。
  • 終點(diǎn)檢測法的靈活應(yīng)用。
  • *的加工特點(diǎn)。

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