用塵埃粒子計數(shù)器對高效過濾器檢測檢漏方法及檢測檢漏標(biāo)準(zhǔn)：用大氣塵為塵源與粒子計數(shù)器配合，對高效過濾器作檢漏檢查。打開風(fēng)機，在離高效過濾器表面25mm處采用塵埃粒子計數(shù)器掃描檢測，掃描速度為5cm-30 cm /s，檢測出0.5μm的微粒數(shù)不得超過3500粒/m3。

塵埃粒子計數(shù)器高效過濾器檢漏方法：

潔凈度級別等于或高于100級的潔凈車間的高效過濾器安裝前必須作現(xiàn)場檢漏，重點是檢查過濾器有無破損漏泄等自身質(zhì)量。

所有級別的潔凈車間，都要求對其安裝好的高效過濾器作檢漏，在現(xiàn)行規(guī)范沒有給出檢查數(shù)量時，可以自定一個比例，安裝檢漏的重點是空氣過濾器邊框密封質(zhì)量。

高效過濾器檢漏常用的儀器有:塵埃粒子計數(shù)器和5C氣溶膠發(fā)生器。

用于測量潔凈環(huán)境中單位體積空氣內(nèi)的塵埃粒子大小及數(shù)目，可直接檢測潔凈度等級為十級至三十萬級的潔凈環(huán)境。體積小、重量輕、檢測精度高、功能操作簡單明了，微處理器控制，可貯存、打印測量結(jié)果，測試潔凈環(huán)境十分便利。

5C氣溶膠發(fā)生器

5C氣溶膠發(fā)生器能產(chǎn)生一致的多種直徑分布的氣溶膠粒子，TDA-5C氣溶膠發(fā)生器與TDA-2G或TDA-2H等氣溶膠光度計配合使用時能提供足夠的挑戰(zhàn)粒子去測量高效過濾系統(tǒng)。

潔凈室高效過濾器粒子計數(shù)器法檢漏的一般規(guī)定

（1）被檢過濾器必須已測過風(fēng)量，在設(shè)計風(fēng)速的80%～120%之間運行。

（2）在被檢高效過濾器上風(fēng)側(cè)測定大氣塵的微粒數(shù)，以大于或等于0.5ΜM微粒為準(zhǔn)，其濃度必須大于或等于3.5×`10^4`粒/L；若檢測超高效過濾器，則以大于或等于0.1ΜM微粒為準(zhǔn)，其濃度必須大于或等于3.5×`10^6`～3.5×`10^7`粒/L。

（3）若上風(fēng)側(cè)濃度不符合上項規(guī)定，則應(yīng)引入不經(jīng)過濾的空氣，如果還達不到規(guī)定，則不宜用粒子計數(shù)器法和凝結(jié)核計數(shù)器法檢漏。

（4）檢漏時將采樣口放在距離被檢過濾器表面2～3CM處，以5～20MM/S的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封頭膠和安裝框架處進行掃描。