產(chǎn)品簡介
ZXL-830D型氦質(zhì)譜檢漏儀
一、產(chǎn)品介紹
ZXL-830D型是一款配置無油干泵的氦質(zhì)譜檢漏儀。適用于對高清潔的真空設備進行檢漏。
二、主要技術指標
1.最小可檢漏率：2×10-12Pa·m3/s
2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3.啟動時間：≤3min
4.響應時間：≤1s
5.檢漏口的壓力：1500Pa
6.極限壓強：5×10-4Pa
7.電源要求：220V，50Hz，單相，10A
8.工作環(huán)境：5-35℃
9.相對濕度：≤80%
10.外形尺寸：550（W）×420（D）×700（H）
11.重量：65kg
三、主要配置
1.進口檢漏儀分子泵
2.進口干泵
3.配置標準漏孔
4.美國AD放大器
5.采用質(zhì)譜模塊
6.臺達觸摸彩屏
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