適合HBr，HCl等鹵素系列反應性，腐蝕性特殊氣體使用，氣體接觸部分采用哈司特鎳合金，腐蝕性特殊氣體的壓力傳送器

半導體設備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應，形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

● 高耐腐蝕性

對應HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體，氣體接觸部分采用遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®，并進行了電解研磨處理，充分發(fā)揮了其出色的耐腐蝕性能力。

● 高精度、高可靠性
直線性、滯后性、重復精度的影響造成和擬合線的*偏差為±0.25％，具備高精度和高可靠性。

● 測定范圍寬
表壓的壓力范圍從0～172.4KPA（1.76KGf/cm2）到20,684KPa（210KGf/cm2），壓的壓力范圍為0～2,586torr。

● 使用壽命長
各測量范圍都通過了100萬次的循環(huán)耐久測試。

● 輸出
輸出可以選擇4～20mA或0～5V，可以連接各種數(shù)字式面板儀表和可編程邏輯控制器。

規(guī)格：

※可選項：表壓類型的輸出基準可以為真空（-100KPa）。（訂購時需要）