| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設備內(nèi)部溫度反饋 | 設備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風機采用德國EBM軸流風機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質 | 冷軋板噴塑 （標準顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機用低溫冷水機組故障原因與排除
光刻機用低溫冷水機組故障原因與排除
1、制冷壓縮機內(nèi)無敲擊聲，壓縮機正常運轉，膨脹閥開度調(diào)節(jié)合適，運轉中只有壓縮機吸、排氣聲，不產(chǎn)生敲擊或其它不正常聲響。
2、壓縮機各摩擦部位溫度正常，無激熱現(xiàn)象。壓縮機各摩擦部位、軸承與軸頸接觸良好，潤滑正常，不產(chǎn)生超過環(huán)境溫度。
3、曲軸箱油面處在正常位置，一般壓縮機曲軸箱正常油面應在視油鏡中間位置。如果是兩個油鏡，則正常油面應在上油鏡的水平線上，但低不得低于下油鏡水平線或見不到油位。另外，在壓縮機運轉過程中滑油不應起泡。
4、油壓過低會造成各摩部件表面的干摩或卸載一能量調(diào)節(jié)機構動作遲緩；油壓過高不但易損壞油泵軸、鍵及傳動件，而且會使各摩擦面之間進油過多，增加摩擦阻力。。
5、壓縮機無結霜現(xiàn)象，制冷系統(tǒng)工作過程中，壓縮機回氣管路結霜應屬正?，F(xiàn)象，但當操作不良或膨脹閥調(diào)整不當時，往往會造成壓縮機氣缸壁和機體結霜，嚴重時可能造成壓縮機“液擊”。
6、光刻機冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)各輔助設備處于正常工作狀態(tài)，膨脹閥開度適當；各風機及電機運轉平穩(wěn)；水循環(huán)系統(tǒng)的水泵運轉正常，無異常聲響；水循環(huán)管路及各連接處無嚴重漏水現(xiàn)象；更重要的是制冷系統(tǒng)所有設備連接管路不允許有制冷劑泄漏現(xiàn)象。
7、光刻機冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)所有壓力及溫度指示正確，壓力表、溫度表指針穩(wěn)定；高、低油壓控制器調(diào)整適當，在所要求之壓力數(shù)值范圍內(nèi)能起到自動控制和保護作用。
8、制冷系統(tǒng)正常工作時，其冷凝壓力與冷凝溫度，蒸發(fā)壓力與蒸發(fā)溫度呈對應關系。
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