光刻機用冷水機組油堵故障知識分享

光刻機用冷水機組油堵故障知識分享

　　光刻機用冷水機組產(chǎn)生油堵的主要原因：壓縮機缸體磨損嚴重或活塞與氣缸配合間隙過大所致。

　　隨光刻機用冷水機組壓縮機排汽油被排入冷凝器，進而隨同制冷劑一起進入干燥過濾器，由于油的粘度較大，被過濾器內的干燥劑阻住，油過多時在過濾器進口處形成堵塞，使制冷劑不能正常循環(huán)，制冷設備不制冷。

　　造成光刻機用冷水機組其他管路堵塞的原因是：在焊接管路時被焊料堵塞；或在更換管子時所更換的管子本身已堵塞而未發(fā)現(xiàn)，以上堵塞都是人為因素造成，因此要求在焊接和更換管子時，應按要求進行操作和檢查，就不會造成人為堵塞故障了。

　　光刻機用冷水機組油堵故障的排除：產(chǎn)生油堵故障，說明在光刻機用冷水機組內殘存有過多的冷凍機油，以致影響制冷效果，甚至不能制冷，因此須將系統(tǒng)內的冷凍機油清除干凈。

　　光刻機用冷水機組過濾器油堵時應更換新過濾器，同時用高壓氮氣吹出冷凝器內積存的部分冷凍機油，在通入氮氣時可用電吹風機加熱冷凝器。