| 型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門(mén)子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機(jī)用冷水機(jī)中閥門(mén)的安裝方法
光刻機(jī)用冷水機(jī)中閥門(mén)的安裝方法
在光刻機(jī)用冷水機(jī)中，閥門(mén)的主要功能是控制制冷劑的流量和方向。在日常使用中，經(jīng)常使用閥門(mén)。當(dāng)行業(yè)冷水機(jī)需要停止或打開(kāi)時(shí)，需要使用閥門(mén)。由于其日常使用頻率很高，因此在安裝過(guò)程中應(yīng)多加注意，以確保其正常使用而不會(huì)影響工業(yè)的穩(wěn)定性冷水機(jī)。
1.閥門(mén)應(yīng)安裝在易于拆卸和維護(hù)的地方。在安裝各種閥門(mén)時(shí)，請(qǐng)注意制冷劑的流動(dòng)方向，不要以相反的方向安裝它們。
2.安裝光刻機(jī)用冷水機(jī)的法蘭閥時(shí)，須在法蘭板和閥法蘭上加高壓石棉板，并根據(jù)閥門(mén)上法蘭槽的深度確定高壓石棉板的厚度。當(dāng)閥門(mén)較大而槽較深時(shí)，應(yīng)使用較厚的石棉板，以免它們之間的凹凸面界面容易留有間隙且密封不緊密。組裝法蘭閥時(shí)，請(qǐng)確保所有螺栓受力均勻，否則，凹凸面容易產(chǎn)生偏斜。
3.截止閥的安裝應(yīng)使工作流體從閥的??底部流到上部。在水平管道上安裝時(shí)，閥桿應(yīng)垂直向上或傾斜一定角度，并且閥桿不得向下。如果閥門(mén)位置難以接近或過(guò)高，可以將閥桿水平安裝以方便操作。
4.在為光刻機(jī)用冷水機(jī)安裝止回閥時(shí)，閥芯應(yīng)能夠自動(dòng)打開(kāi)。對(duì)于提升止回閥，閥芯的線和水平面應(yīng)相互垂直。對(duì)于旋啟式止回閥，應(yīng)確保閥芯板的旋轉(zhuǎn)，并且閥芯板須水平安裝。
5.靠譜閥應(yīng)直接安裝在設(shè)備出口的截止閥上，閥體上的箭頭應(yīng)與工作介質(zhì)的流向一致。
6.電磁閥須水平安裝在設(shè)備的出口處，并位于定的位置。
7.光刻機(jī)用冷水機(jī)中的熱力膨脹閥也須水平安裝。
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