由于超純水對(duì)水質(zhì)的BOD和TOC等物質(zhì)的含量要求比較高，所以一般會(huì)采取二級(jí)反滲透，后面的工藝比則采取離子交換混床或者EDI的技術(shù)。

    離子交換混床是通過(guò)離子交換樹脂在電解質(zhì)溶液中進(jìn)行的，可去除水中的各種陰、陽(yáng)離子，是目前制備高純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽(yáng)離子交換器、陰離子交換器等。當(dāng)原水通過(guò)離子交換柱時(shí)，水中的陽(yáng)離子和水中的陰離子（HCO3-等離子）與交換柱中的陽(yáng)樹脂的氫根離子和陰樹脂的氫氧根離子進(jìn)行交換，從而達(dá)到脫鹽的目的。陽(yáng)、陰混柱的不同組合可使水質(zhì)達(dá)到更高的要求。
    離子交換法是目前國(guó)內(nèi)外制水行業(yè)普遍采用的較為理想的方法，也是有效地化學(xué)法之一，離子交換是一種用陰陽(yáng)交換樹脂對(duì)離子的選擇性及平衡反應(yīng)原理，去除水中電解質(zhì)離子的技術(shù)。其特點(diǎn)是利用離子交換樹脂在水中和鈣、鎂及鈉離子接觸交換，從而得到優(yōu)質(zhì)純水及高純水，水質(zhì)安全可靠，是一套完整成熟的制水工藝，現(xiàn)廣泛為廣大用戶認(rèn)可。