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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品新舊 | 全新 |
| 配備圖像分析系統(tǒng) | 是 | 物鏡 | 10X,20X,50X,100X |
Nanoscope Systems NS3600三維激光共聚焦顯微鏡
NS-3600是一款高速共聚焦激光掃描顯微鏡（CLSM），可用于精確可靠的3維（3D）測(cè)量。 通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共聚焦顯微圖像。
這是測(cè)量和檢查微觀3D結(jié)構(gòu)有前途的解決方案，例如半導(dǎo)體晶圓，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS器件，玻璃基板和材料表面。
Features & Benefits（性能及優(yōu)勢(shì)）：
高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測(cè)量 自動(dòng)傾斜補(bǔ)償
實(shí)時(shí)共焦成像 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式
多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測(cè)
實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像 無(wú)樣品準(zhǔn)備
Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：
NS-3600是測(cè)量低維材料的有前途的解決方案。
可測(cè)量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度，寬度，角度，面積和體積，例如
-半導(dǎo)體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測(cè)，CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測(cè)，ITO圖案，LCD柱間距高度
- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池，太陽(yáng)能電池紋理，激光圖案
-材料研究:模具表面檢測(cè)，粗糙度，裂紋分析
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移動(dòng)站：高速3D激光共聚焦顯微鏡
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