Nanoscope Systems NS3600三維激光共聚焦顯微鏡
NS-3600是一款高速共聚焦激光掃描顯微鏡（CLSM），可用于精確可靠的3維（3D）測量。 通過快速光學掃描模塊和信號處理算法可實現(xiàn)實時共聚焦顯微圖像。
這是測量和檢查微觀3D結構有前途的解決方案，例如半導體晶圓，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS器件，玻璃基板和材料表面。
Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：
高分辨無損傷光學3D測量 自動傾斜補償
實時共焦成像 簡單的數(shù)據(jù)分析模式
多種光學變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測
實時CCD明場和共聚焦成像 無樣品準備
Application field（應用領域）：
NS-3600是測量低維材料的有前途的解決方案。
可測量微米和亞微米結構的高度，寬度，角度，面積和體積，例如
-半導體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測，CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度
- MEMS器件:結構三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案
-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分析
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