RTP快速退火爐是我公司自主研發(fā)的功能*的加熱設備。RTP快速退火爐采用進口紅外加熱管加熱，造型新穎結構合理，爐體和爐管可以自由滑動，可實現快速升降溫。爐管內尺寸120mm，可以直接放下4英寸的材料，試樣反應區(qū)處在一個密閉的石英腔體內，在完成生產工藝的同時也大大降低了間接污染試樣的可能性。設備配備LCD高清觸摸屏，設定數據實驗操作均為圖文界面，操作方便快捷易上手，能夠大大提高您的實驗效率。設備預留了真空和氣路的快速接口，可以選購我們的真空系統(tǒng)和混氣系統(tǒng)一起使用。

RTP快速退火爐應用領域：

  快速退火爐設備，可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴散、化合物半導體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點分析、薄膜沉積等。

RTP快速退火爐技術參數：

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