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產(chǎn)品簡介
小型雙爐體滑道管式爐同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建CVD系統(tǒng)。
該設(shè)備可用于石墨烯制備、硫化物制備等。
小型雙爐體滑道管式爐技術(shù)參數(shù)：
微 型 管 式 爐 產(chǎn)品型號(hào) CY-O1200-50SDM 爐管材質(zhì) 高純石英 爐管直徑 50mm 爐管長度 1400mm 加熱區(qū)長 300mm 恒溫區(qū)長 200mm 工作溫度 0～1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 高亮數(shù)碼管數(shù)字顯示 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號(hào) CY-3Z 氣體通道 3通道 測(cè)量部件 氣體質(zhì)量流量計(jì) 測(cè)量量程 A通道：0～100SCCM H2氣 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時(shí)需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。 B通道：0～300SCCM N2氣 C通道：0～500SCCM Ar氣 測(cè)量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50～300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統(tǒng) 機(jī)械泵 旋片泵 抽氣速率 4L/S 排氣接口 KF16 真空測(cè)量 電阻規(guī) 極限真空 1.0E-1Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 抽氣接口 KF16
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