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等離子增強型CVD系統(tǒng) 行業(yè)專用設備

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公司名稱鄭州成越科學儀器有限公司
品牌
型號CY-O1200-50IS-PECVD
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2026/3/31 9:36:03
訪問次數(shù)356

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鄭州成越科學儀器有限公司位于鄭州*開發(fā)區(qū)863軟件園內(nèi)，是一家專業(yè)從事材料制備設備和材料制備原料代理的高科技公司。重點專注于CVD石墨烯制備設備、熒光粉燒結(jié)設備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向，立志做材料制備技術及設備和原料的提供商。鄭州成越科學儀器有限公司的“研發(fā)團隊”憑借自身在熱處理技術方面的專業(yè)知識和豐富的實踐經(jīng)驗，先后研發(fā)出了多款材料制備設備。主要產(chǎn)品有：微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等；其他的產(chǎn)品還有：等離子清洗機、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。鄭州成越科學儀器有限公司近年來，在社會各界的關心支持下，公司不斷發(fā)展壯大，與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關系；公司還聘請了多位國內(nèi)外重點高校的教授，博導為公司常年的技術顧問，他們時刻與國內(nèi)外學術界保持交流，出國訪問，并親臨一線指導產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā)，使我公司的產(chǎn)品不斷*，并緊跟世界研究熱點，推出相關的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠銷歐美、日韓等國家，并在國內(nèi)外市場獲得業(yè)界*。如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾，選擇我們將改變您對國貨的某些觀念；如果您正在為自己的實驗方案的實施而茫然，選擇我們將有專業(yè)的技術團隊為您量身定做！如果您正在為故障設備的售后無人理會而發(fā)愁，選擇我們一切的問題將由我們負責到底。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

簡單介紹： CY-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強型CVD系統(tǒng)。此系統(tǒng)由150W射頻電源、單溫區(qū)管式爐、3通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵組成。

等離子增強型CVD系統(tǒng) 行業(yè)專用設備產(chǎn)品信息

詳情介紹：

○ 產(chǎn)品介紹

CY-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強型CVD系統(tǒng)。此系統(tǒng)由150W射頻電源、單溫區(qū)管式爐、3通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵組成。

○ 技術參數(shù)

結(jié)構(gòu)特點	? 150W射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度 ? 3通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行**的調(diào)控
工作電源	? AC208-220V，50/60Hz ? 總功率：4KW
單溫區(qū)管式爐	? *高溫度：1100oC(< 2h) 連續(xù)工作溫度：1000℃ ? PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng) ? 輸入功率：220V，單相，功率：1.5KW ? 加熱區(qū)長度：200mm，恒溫區(qū)：100mm ? 爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管
等離子射頻電源	? 輸出功率：0-150W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%） ? 射頻頻率：13.56MHz(穩(wěn)定性：±0.005%) ? *大反射功率：150W ? 匹配：手動匹配 ? 射頻輸出端口：50Ω、N型 ? 噪音：＜50dB ? 冷卻: 空氣冷卻 ? 電源: 220VAC, 50/60Hz
石英管	? 高純石英管 ? 尺寸：φ50mm*1200mm L
密封法蘭	? 一對不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭）
真空泵（該部分為選配，單獨計費）	? 雙級真空泵 ? KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵
3通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)（該部分為選配，單獨計費）	? 4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的控制（度：±0.02%） ? 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 0~200 SCCM 三路: 1~200 SCCM ? 電壓：220V AC 50/60Hz ? 氣體進出口配件：直徑6.35mm不銹鋼管 ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出
尺寸和重量	? 1400mm L x 600mm W x 1240mm H ? 凈重：90kg
質(zhì)保期	? 一年質(zhì)保期，終生維護（石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外）
質(zhì)量認證	? CE認證
使用注意事項	? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥 ? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) ? 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ? 對于樣品加熱的實驗，使用時不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生。