有機(jī)廢氣處理催化燃燒處理法工藝流程，在有機(jī)廢氣處理工程中針對排放廢氣的不同情況，可以采用不同形式的催化燃燒工藝，但不論采用什么工藝方式，它的流程組成都具有共同的特點(diǎn)，如：
1.進(jìn)入催化燃燒裝置的氣體首要經(jīng)過預(yù)處理，除去粉塵、液滴及有害組分，避免催化床層的堵塞和催化劑的中毒。
2. 進(jìn)行催化床層的氣體溫度必須要達(dá)到所用催化劑的起燃溫度，催化反應(yīng)才能進(jìn)行。
因此對于低 于起燃溫度的進(jìn)氣，必須進(jìn)行預(yù)熱使其達(dá)到起燃溫度。特別是開車時(shí)，對冷時(shí)氣必須進(jìn)行預(yù)熱，因此催化燃燒法適于連續(xù)排氣的凈化，經(jīng)開車時(shí)對進(jìn)氣預(yù)熱后，即 可利用燃燒尾氣的熱量預(yù)熱進(jìn)口氣體。
若廢氣為間歇排放，每次開車均需對進(jìn)口冷氣癸進(jìn)行預(yù)熱，預(yù)熱器的頻繁啟動(dòng)，使能耗大大增加。
3. 催化燃燒反應(yīng)放出大量的反應(yīng)熱，因此燃燒尾氣溫度很高，對這部分熱量必須回收。一般首先通過換熱器將高溫尾氣與進(jìn)口低溫氣體進(jìn)行熱量交換以減少預(yù)熱能耗， 剩余熱量可采用其他方式進(jìn)行回收。
在生產(chǎn)裝置排出的有機(jī)廢氣溫度較高的場合，如漆包線、絕緣材料等烘干溫度可達(dá)300度以上，可以不高置預(yù)熱器和換熱器。 但燃燒尾氣的熱量仍應(yīng)回收。
4. 進(jìn)行催化燃燒的設(shè)備為催化燃燒爐，主要應(yīng)包括預(yù)熱與燃燒部分。在預(yù)熱部分，除設(shè)置加熱裝置外，還應(yīng)保持一定長度的預(yù)熱區(qū)，以使氣體溫度分布均勻并在使用燃料燃燒加熱進(jìn)口廢氣時(shí)，保證火焰不與催化劑接觸。為防止熱量損失，對預(yù)熱段應(yīng)予以良好保溫。在催化反應(yīng)部分，為方便催化劑的裝卸，常設(shè)計(jì)成筐狀或抽屜狀的 組裝件。