高精度，多用途的層流式質(zhì)量流量計

■ 精度可達(dá)讀數(shù)的 ±0.8%, 滿量程的±0.2%;重現(xiàn)性為±0.2%
■ 可測量20種標(biāo)準(zhǔn)氣體-根據(jù)顯示可選
■ 流量在1 SCCM范圍內(nèi)1%~*可調(diào)節(jié)，大量程可達(dá)1000 SLPM
■ 具有NIST追蹤證書

這種流量計通過測量氣體通過層流器（LFE）產(chǎn)生的壓降來測量氣體流量。 因為層流器已經(jīng)

將氣流分層，因此無需在流量計上再使用逆流或順流直管，地簡化了流量計的安裝過程。

同熱質(zhì)量技術(shù)相比，LFE設(shè)計具有超短的反應(yīng)時間（10毫秒以內(nèi)），可直接使用而無需預(yù)熱

等待。

使用顯示屏周邊環(huán)繞的連體鍵盤即可完成全部編程操作。 可通過0~5 VDC信號將流量值輸

出到遠(yuǎn)程顯示屏，記錄儀或用于調(diào)節(jié)閥門/泵的控制器上。

流量控制器具有積分PID功能，可以隨流量要求的變化而做出調(diào)節(jié)。 可使用鍵盤，可選的

設(shè)定控制模塊，0~5號或RS-232輸入信號進(jìn)行流速設(shè)定。  設(shè)定控制模塊訂購信息見下

表。 訂購使用下表中的電池包，可實現(xiàn)流量計便攜式使用。

隨機(jī)配備： 廠商提供的NIST追蹤證書,120/230 VAC電源適配器，帶通訊線。

參數(shù)
大顆粒尺寸 1 LPM以內(nèi)的型號： 20 µm  1 LPM ~1000 LPM的型號: 50 µm
精度: 讀數(shù)的±0.8%；±0.2% 滿量程
重現(xiàn)性： ±0.2%
反應(yīng)時間  流量計： 10 msec 流量控制器： 50 msec
使用溫度: -10~50°C
大壓力: 10 bar
壓力降： 0.05~0.20 bar （流量計）
輸出信號: 0~5 VDC, RS-232, 0~10 VDC
輸入信號: 0~5 VDC, RS-232, 0~10 VDC
浸潤部件   流量計： 302和303 SS, Viton®, 硅酮RTV,和玻璃強(qiáng)化尼龍，鋁  流量控制

器： 302, 303 SS; Viton, 硅酮RTV, 玻璃強(qiáng)化尼龍, 鋁, 黃銅, 410 SS, 硅, 玻璃。