HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列為百萬周期真空閘閥, 專為高真空應(yīng)用而設(shè)計, 特別適合 1x10^-9 mbar 高真空且烘烤溫度不超過 150°C的應(yīng)用.

HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列內(nèi)部沒有機(jī)械鎖, 非常適合對于要求無振動運(yùn)行的半導(dǎo)體和敏感工藝. 所有活動關(guān)節(jié)的軸都經(jīng)過硬化處理, 減少了顆粒物的產(chǎn)生并提供了更平穩(wěn)的驅(qū)動.

清潔和高密封性保證 HVA 真空閥門與低溫泵、渦輪分子泵, 離子泵等完美聯(lián)用.

上海伯東是美國 HVA 真空閥門在中國地區(qū)總代理商.

HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產(chǎn)品特點(diǎn):

1. 直線驅(qū)動允許使用焊接波紋管來密封驅(qū)動器.

2. *的氣缸設(shè)計使沖擊和振動減少到zui小.

3. HVA真空閘閥 21200 系列真空腔內(nèi)沒有機(jī)械鎖, 因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè).

4. 所有移動的接頭都有硬軸有效減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動更容易.

5. HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)界zui小的內(nèi)部表面區(qū)域.

6. 閥體和所有內(nèi)部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的zui大完整性.

7. 在保養(yǎng)方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個系統(tǒng)中拆卸出來.

8. 閥門驅(qū)動手動、氣動可選.

9. 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿足不同應(yīng)用.

10. HVA 標(biāo)準(zhǔn)周期真空閥門 21200 系列可任意位置安裝.

11. 電磁閥控制并帶有手動超控.

HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列 技術(shù)參數(shù)：

HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產(chǎn)品訂貨號

HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產(chǎn)品選件

1. 定制法蘭

2. 帶銅帽的特高壓版本

3. 備用O形圈材料

4. 備用螺線管電壓

5. 位置指示器的微動開關(guān)

6. 粗加工

7. 電機(jī)操作員

8. 高溫組件，包括O形圈，微動開關(guān)和執(zhí)行器。

9. 較大的尺寸