德州物料凈化用室與潔凈室設(shè)備要求

         潔凈室內(nèi)額設(shè)備和物料出入口，應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料額特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)物凈設(shè)施。物料凈化用室與潔凈室之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

          潔凈室內(nèi)應(yīng)采用具有防塵、防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備，并應(yīng)符合下列要求：表面應(yīng)光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì)；設(shè)備的傳動(dòng)部件等應(yīng)密封性能好，并應(yīng)防止?jié)櫥汀⒗鋮s劑等的泄漏；對(duì)生產(chǎn)中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃?xì)怏w的設(shè)備，應(yīng)采取防擴(kuò)散措施；設(shè)備的金屬外殼應(yīng)設(shè)置接地設(shè)施。

   德州物料凈化用室與潔凈室設(shè)備要求，當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室時(shí)，宜采取密封隔斷措施。潔凈室內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。潔凈室內(nèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。潔凈室內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)，應(yīng)符合使用潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)備除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)；對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可然氣體濃度超過bao炸下限的20%時(shí)，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置。在排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；傳輸易燃、自然化學(xué)品或高濃度引起的真空泵，應(yīng)采用不然泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾摺?/span>

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