力士樂溢流閥DBW30A1-52/200XY-6EG24N9K4

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壓強(qiáng)范圍

真空泵種類 工作壓強(qiáng)范圍（Pa） 起動(dòng)壓強(qiáng)（Pa）

活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105

旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105

水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105

羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103

渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3

水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

油擴(kuò)散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10

油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105

分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1

鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2

鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10

低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1

術(shù)語解釋

真空的定義

真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)

真空度

處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

力士樂溢流閥DBW30A1-52/200XY-6EG24N9K4

極限真空

真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次，取其10次的平均值為極限真空值。

抽氣速率

在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡(jiǎn)稱抽速。即Sp=Q/（P－P0）

冷阱（水冷擋板）

置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。

氣鎮(zhèn)閥

油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。