■ SDP等螺距干式螺桿真空泵技術(shù)參數(shù)
SDP等螺距干式螺桿真空泵應(yīng)用范圍
●干式螺桿泵在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用,主要有半導(dǎo)體等離子增強(qiáng)氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護(hù)工件免受污染。
●干式螺桿泵在石油化工中的應(yīng)用,主要是抽取可凝性氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。
●制藥行業(yè),用于藥物的真空干燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無(wú)菌條件等。
●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝
●工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng)
●擠出機(jī)的混合工藝及板材的排氣工藝
●混合樹(shù)脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物。
●涉及無(wú)油無(wú)水真空處理的所有應(yīng)用
●食品行業(yè)用于香料,香精濃縮等。
■ SDP等螺距干式螺桿真空泵技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | 抽氣量 | 極限壓力 | 電機(jī)功率 | 轉(zhuǎn)速 | 進(jìn)氣 | 排氣 | 冷卻水量 | 噪聲 | 重量 |
| M³/h | Pa | KW | rpm | mm | mm | L/min | dB | Kg | |
| SDP200 | 150 | 6.5 | 5.5 | 2900 | 50 | 50 | 7 | 75 | 230 |
| SDP300 | 250 | 6.5 | 7.5 | 2900 | 50 | 50 | 10 | 75 | 280 |
| SDP400 | 350 | 6.5 | 11 | 2900 | 65 | 50 | 15 | 75 | 340 |
| SDP600 | 450 | 6.5 | 15 | 2900 | 80 | 50 | 15 | 75 | 580 |
| SDP800 | 650 | 6.5 | 18.5 | 2900 | 100 | 65 | 20 | 78 | 650 |
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