Micro小型臺(tái)式主動(dòng)減振平臺(tái)儀器介紹

基本原理
通常的被動(dòng)減振體系如圖所示，由需要減振的裝置（mass M）和一個(gè)彈簧阻尼單元組成，它可以減小來自地板的高頻振動(dòng)。但由于這種體系會(huì)在本征頻率時(shí)引起共振而增加振動(dòng)，通常被動(dòng)減振體系會(huì)設(shè)計(jì)成2 Hz 到5 Hz的本征頻率和1%到5%的輕微阻尼。主動(dòng)減振體系是用一個(gè)調(diào)節(jié)器代替了粘滯阻尼器，根據(jù)sky-hook 阻尼控制理論，將減振裝置（mass M）速度的比例量作為反饋?zhàn)饔糜跍p振裝置，這樣大大提高了減振的效果。
應(yīng)用領(lǐng)域
• 掃描探針顯微技術(shù)（AFM, STM）
• 納米力學(xué)探針
• 掃描電子顯微技術(shù)（SEM, FE-SEM）
• 共聚焦顯微術(shù)
• 超高真空掃描隧道顯微術(shù)（UHV-STM）
• 激光掃描顯微鏡
• 液晶生產(chǎn)設(shè)備
• 半導(dǎo)體檢測(cè)儀器
• 膜片鉗 （Patch-Clamp）技術(shù)
• 光學(xué)輪廓儀
• 生命科學(xué)Screening stations
• 顯微硬度檢測(cè)儀
• 光學(xué)干涉儀
• 超微量天平

Micro小型臺(tái)式主動(dòng)減振平臺(tái)性能特點(diǎn)

德國(guó)Accurion公司的Micro系列主動(dòng)減振平臺(tái)是利用一個(gè)調(diào)節(jié)器代替了粘滯阻尼器，根據(jù)sky-hook 阻尼控制理論，將減振裝置（mass M）速度的比例量作為反饋?zhàn)饔糜跍p振裝置，這樣大大提高了減振的效果。
?安裝方便
?操作簡(jiǎn)單

性能穩(wěn)定
?低頻振動(dòng)效果猶佳