Ilion II 697 Gatan氬離子拋光系統(tǒng) 主要技術(shù)特點(diǎn)：

　　氬離子拋光系統(tǒng)采用兩支具有低能聚集的小型潘寧離子槍，可提供快速柔和的拋光效果。低至100eV的離子束提供更柔和的拋削效果，用于樣品的拋光。新型低能聚焦電極使得離子束的直徑在幾乎整個(gè)加速電壓范圍內(nèi)都保持恒定。每個(gè)槍都可準(zhǔn)確獨(dú)立地將離子束對(duì)中在樣品上，從而產(chǎn)生*的離子拋光速率。在操作過程中，可隨時(shí)改變槍的角度。通過控制氣體流量可將槍電流變化范圍控制在0~100mA之間。在觸摸屏上通過手動(dòng)或者自動(dòng)方式調(diào)節(jié)氣體流量使每個(gè)槍的工作電流得到優(yōu)化。

　　集成的10英寸彩色觸摸屏計(jì)算機(jī)可對(duì)Ilion II的所有操作參數(shù)進(jìn)行*控制。此界面不僅可以設(shè)定所有參數(shù)并能夠監(jiān)控拋光過程。所有的操作參數(shù)還可以存為配方，調(diào)用配方可獲得高精度重復(fù)實(shí)驗(yàn)。

渦輪分子泵搭配兩級(jí)隔膜泵保證了超潔凈環(huán)境。Gatan的氣動(dòng)控制Whisperlock技術(shù)能實(shí)現(xiàn)快速樣品交換（< 1分鐘），省去了換樣過程中必須*泄真空至大氣的煩惱。

1. 氣鎖裝置實(shí)現(xiàn)快速樣品交換、始終保持潔凈的高真空狀態(tài)

2. 10英寸觸摸屏可對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行*控制與監(jiān)測(cè)

3. 配方模式的控制界面，用于一鍵操作

4. 質(zhì)量流量控制器提供精確和可重復(fù)的氬離子電流的控制

5. 槍電壓范圍為100V到8000V的三元（陰極、陽極與聚焦極）構(gòu)造潘寧離子槍

6. 每個(gè)槍的拋光角度可調(diào)范圍為-10度~10度，增量為0.1度

7. 扇形拋光角度可變且可程序化，范圍從10度~90度

8. 離子槍無需零件更換，壽命超過30,000小時(shí)

9. Gatan的樣品/擋板配置，裝樣簡(jiǎn)單，再次拋光位置準(zhǔn)確

10. *的離子束調(diào)制功能，可進(jìn)行扇形拋光和平面拋光

11. 潔凈的真空系統(tǒng)，分子泵與隔膜泵搭配

12. 操作簡(jiǎn)單，維護(hù)方便

Ilion II 697 Gatan氬離子拋光系統(tǒng) 主要技術(shù)參數(shù)：

1、 離子槍:        兩個(gè)配有稀土磁鐵的三元構(gòu)造（陰極、陽極與聚焦極）潘寧離子槍，聚焦離子束設(shè)計(jì),高性能無耗材

2、 拋光角度:     +10° 到 -10° ，每個(gè)離子槍可獨(dú)立調(diào)節(jié)

3、 離子束能量:     100 V 到 8.0 kV

4、 離子束流密度: 10 mA/cm2 峰值

5、 拋光速度:     300 μm/h（8.0 kV條件下對(duì)于硅試樣）

4.2樣品臺(tái)

6、 樣品裝載： Ilion的樣品擋板, 裝樣簡(jiǎn)單，再次拋光位置準(zhǔn)確，可重復(fù)使用，配合Sample Stub可直接轉(zhuǎn)至SEM中觀察

7、 樣品旋轉(zhuǎn)： 0.5到6 rpm連續(xù)可調(diào)

8、 束流調(diào)制：  *的離子束調(diào)制功能，可進(jìn)行扇形截面拋光（扇形角度為10到90度可調(diào)）和平面拋光

9、樣品觀察： 數(shù)碼變焦顯微鏡，配有PC及Digital Micrograph軟件采集圖像，通過Gatan Digital Micrograph軟件可進(jìn)行實(shí)時(shí)成像（300x–2,200x）與圖像存儲(chǔ)和分析

10、液氮冷臺(tái)：配置液氮冷臺(tái)，樣品低溫度可達(dá)-120°C,有效減少離子束對(duì)樣品造成的損傷

4.3真空系統(tǒng)

11、干泵系統(tǒng)：兩級(jí)隔膜泵支持80升/秒的渦輪分子泵

12、壓力：    5x10-6 托基本壓力，8.5x10-5托工作壓力

13、真空規(guī)： 冷陰極型，用于主樣品室；固體型，用于前級(jí)機(jī)械泵

14、樣品空氣鎖： *的Whisperlok設(shè)計(jì)，樣品更換時(shí)間<1min，無需破樣品室真空

4.4用戶界面

15、10 英寸觸摸屏： 操作簡(jiǎn)單，且能夠*程序化控制所有參數(shù)可進(jìn)行配方操作。

16、配方操作模式：自定義不同的加工參數(shù)組合，實(shí)現(xiàn)一鍵操作。